潘宁放电相关论文
溅射离子泵又被称为潘宁泵,主要由钢制阳极筒、钛合金阴极板、铁氧体永磁铁、过载保护直流电源、不锈钢泵体等部分组成。具有工作......
近几十年，非相对论强流脉冲电子束(HCPEB)作为一种新型的载能束材料表面改性技术得到人们的广泛应用和研究。基于强流、低气压的脉......
本文主要论述了采用潘宁放电（Penning Discharge）方法来制备纳米陶瓷氮化物薄膜。其中重点研究的潘宁等离子体放电方法是一种新型的......
设计并制造了新的潘宁型等离子体源实验装置,分析了等离子体的发射光谱和产生A lN的动力学机理。在室温条件下,纯氮气的工作环境中......
等离子体交叉场调制开关(简称PCMS管)采用外加磁场的设计,基于冷阴极潘宁放电原理产生等离子体。本文应用基于有限元法的多物理场......
在密封电真空器件真空度测量中,潘宁放电检测技术是基于屏蔽罩电位法和磁控放电法的监测技术.本文首先对潘宁放电测试原理进行介绍......
真空断路器是开关电器最为重要的一种电气设备，在电力系统中担负着控制和保护的双重任务。提高开关工作的可靠性已经成为一项重要研......
重新设计了潘宁型等离子体源实验装置,在低气压下得到了稳定的等离子体.分析了等离子体的发射光谱,得到了等离子体光谱强度与放电......
密封电真空器件的可靠性尤其重要,而影响其可靠性的主要因素是 真空度.对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电......
根据大面积离子束辅助沉积MgO薄膜的需要,本文研究了具有并行阳极结构的宽束矩形冷阴极潘宁离子源.在简要说明冷阴极潘宁离子源基......
强流脉冲电子束的产生过程中,需要在阴极与工件之间构建由等离子体所组成的导电通道,以实现放电过程中电子束的传输。在前期研究中......
强流脉冲电子束(High current pulsed electron beam,HCPEB)技术已快速发展成材料表面改性有效方法。辐照过程中高能入射电子束瞬......
根据潘宁放电机理，导出溅射离子泵抽速的理论公式。讨论了抽速对各种放电参数的依赖关系。计算了离子泵对Ｎ２和ＣＯ的抽速。计算结果和实验......
