为了提高我们已研制成功的“新型簧片式硅加速度传感器”的性能，用“有限元法”计算了不同形状和尺寸的质量块在40g值加速度作用下......

该文对硅压阻式加速度传感器的三种结构：悬臂梁、四梁和双岛－五梁的空气阻尼问题进行了研究。从决定平板运动阻尼特性的Ｒｅｙｎｏｌｄｓ方程出发，在平......

本文以Ｍｏｄｅｌ ３２２５为例对硅加速度计的构成，特点，工作原理作了介绍，重点阐述了Ｍｏｄｅｌ３２２５的内部结构，信号调理电路的工作，性能及参数定义，详细介绍了它的自测......

本文在简要介绍了,利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的,双E非整体弹性膜式硅芯片结构的同时,又较详细地报告了,用此芯片封装成的硅加......

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