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据研究发现,当采用掺杂多晶硅作为扩散源时,硼与磷会扩散到热生长二氧化硅层中去,这种扩散的快慢与推进气氛有关,在氢气中扩散最快......
<正> 大家知道,本世纪的国际电子学在小型化技术发展方面已经历了四个阶段(或称四代):1.1904年出现电子管;2.1948年发明晶体管,五......