等离子体离子注入相关论文
等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,是利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入.等离......
等离子浸没离子注入过程中,由于电路和负载的容性效应,使高压脉冲电源的输出电压前后沿较长,而高压脉冲的前后沿对离子能量的均匀......
磁过滤弧源沉积系统是最新研制成功的可同时用于沉积金属膜和金属离子注入的系统,具有沉积速率快,离子种类多,离子能量可控等特点。该......
在等离子体源离子注入的同一真空室中安放多个不平衡磁控溅射靶,将磁控溅射气相沉积与等离子体源离子注入结合起来,可以实现多种元素......
提出了一种基于靶台(工件)二次加速的束线离子注入的新方法,基本原理是将传统束线离子注入和等离子体离子注入有效复合。采用二维P......
本文采用Particle-in-cell模型对采用电感等离子体离子注入处理管内表面的动力学过程进行数值仿真研究,考察了电感线宽对管内电势......
内表面改性近年日益受到人们重视.本文采用基于Graphic Processing Unit (GPU)的Particle-in-cell (PIC)模型对方形管内表面的离子......
研制的用于等离子体浸没离子注入(PⅢ)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,......
等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,是利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入.等离......
2011年9月8日~17日,哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室、国家自然科学基金委员会、可靠性与环境工程技术重点实验室等联......
介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上,不需外部等离子体源,利用工件自......
基于MATLAB利用Particle-in-cell模型,对梯形管内壁等离子体离子注入过程,进行了二维数值模拟.计算结果表明在中心电极附近出现了"......
类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性,其开发研究已引起人们的极大关注.文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种......
研制的用于等离子体浸没离子注入(PIII)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,......
研制的用于等离子体浸没离子注入的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40kV 高压脉冲电源与13.56MHz 射频电源直接耦合,由单一......
MATLAB是当今先进计算软件之一,它提供的各类工具箱和内置函数给应用者带来了极大的方便。本文通过调用MATLAB中偏微分方程工具箱......
基于原位腐蚀观察方法,采用光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和能谱分析(EDS)、盐水浸泡实验等手段研究了Mg-Gd-Y-Nd-Zr和MB8两种镁......