纳米结构制作相关论文
从波粒二象性原理出发 ,研究了用氖原子束计算全息技术制作任意纳米结构的基本原理和方法 ,克服了用激光梯度场控制原子堆积 ,只能......
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子......
期刊
随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础.纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景.文章介......
提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法.该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米......
介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法.亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂......
纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分,原子光刻技术是纳米图形制作的一项新方法.对直流高压放电产生的亚稳态氩原子束进行准直减......
介绍了纳米结构制作的一种新方法--纳米印刷光刻的基本原理、总体方案.该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批......
纳米技术是 2 1世纪信息科学的一项关键技术 ,纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 .纳米光刻技术是制作纳米结构的基础 ,具有重......