极紫外光刻技术相关论文
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
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随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础.纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景.文章介......
2013年4月15日消息，曾经有客户希望台积电的工艺更新换代步伐能够放缓一些，但无论从技术还是从商业角度讲，台积电显然都不可能这么做，......
光刻机的分辨率是基于瑞利分辨率公式R=k1λ/NA,提高分辨率的途径是缩短曝光光源的波长和提高投影物镜的数值孔径。目前主流市场使......
本文从多方面对下一代光刻技术做了介绍和分析，重点描述了纳米压印光刻技术、极紫外光刻技术、无掩模光刻技术、原子光刻技术、电子......
“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利通过验收近日，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“极紫外光刻关键技术......
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