谐振式加速度计相关论文
将测控技术与仪器专业基础课程“传感技术及应用”中谐振式传感器的优化设计与实际应用相结合，以谐振式加速度计为例，提出基于ANSYS......
静电负刚度谐振式加速度计（Electrostatic Frequency Modulation Accelerometer,EFMA）是一种新型微机电（Micro-Electro-Mechanical Sy......
迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式加速度计已得到战略级应用（惯性导航与制导）。谐振式加速度计可将加速度信号直接转换为频率的......
惯性仪表(包括陀螺和加速度计)是惯性技术的基础和核心,近年来,以高精度硅微机电陀螺、集成化微光纤陀螺、速率积分半球谐振陀螺、......
MEMS加速度计经过近四十年的发展,是目前产业化最为成功、应用最为广泛的MEMS器件之一。以硅微机械谐振器作为敏感元件的谐振式MEM......
硅微机械加速度计是MEMS(Micro Mechanical System)传感器的研究热点之一,具有体积小、成本低、易于批量生产等优点。与其它类型的......
介绍了一种基于电磁激励方式,采用基于绝缘体上硅的微电子机械系统(SOI-MEMS)加工方法制作谐振式加速度计及其闭环控制电路系统.传......
微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰，在传输和处理过程中也不易出现误差。针对实验室加工的谐振式微机械加......
硅微谐振式加速度计能将被测加速度直接转换为稳定性和可靠性都很高的频率信号,因此可以获得优良的性能。高分辨率频率信号的获取......
实验发现硅微谐振式加速度计非线性效应的弱化可以降低测量噪声,对非线性振动进行了推导与建模,利用扫频数据得到模型中的未知参数......
谐振式加速度计的振动稳定性,是加速度计的重要性能指标之一,对测量精度和可靠性有重要影响。本文以谐振式加速度计敏感结构的振动......
提出了一种高性能氮化铝（Al N）差分谐振式加速度计结构。通过引入两级微杠杆来放大质量块的惯性力,提高灵敏度;采用＂I＂形支撑梁来降低......
微机电系统(MEMS)谐振式加速度计因具有动态范围大、灵敏度高、稳定性高等优点成为研究热点。针对以振荡电路为接口电路的谐振式加......
为了设计高灵敏度的谐振式加速度计,从能量耗散的角度对其进行了力学建模分析,通过理论分析和实验仿真说明：传感器参数的选择对系统......
MEMS加速度计具有体积小、重量轻、功耗小、成本低和过载能力强等特点，广泛应用于航空航天、导弹制导、通用航空、车辆控制、工业自......
在现今社会中,加速度计的微型化和数字化集成技术渐渐成为各个领域竞相研究的热点问题。本文研究的MEMS谐振式加速度计是一种新型......
MEMS加速度计具有体积小,重量轻,功耗低,成本低和性能可靠等优势,作为惯性导航系统的核心元件,MEMS加速度计已被广泛应用于消费电......
介绍了一种基于电磁激励方式,采用基于绝缘体上硅的微电子机械系统(SOI-MEMS)加工方法制作谐振式加速度计及其闭环控制电路系统.传......
目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析,论......
