软光刻相关论文
软体机器人是指由软体材料制造而成的机器人，具有质量轻、灵活性高、环境适应性强、功能多样等优点，用途广泛。驱动方式和制造工艺是......
表面形貌结构作为材料表面的物理特征之一,具有模拟细胞外基质的仿生特性以及对细胞行为有重要的诱导作用,已被广泛用于细胞行为的......
近年来,随着各种功能性材料的开发利用,微纳制造在诸如柔性电子、光学器件、微流控器件等众多领域显得尤为重要。目前几种主流的微......
基于激光诱导荧光检测技术的微流控系统广泛应用于生物化学检测领域。针对微流控系统中检测样本较少,诱导荧光强度较弱的问题,设计......
微全分析系统是分析仪器发展的重要方向与前沿。它将试验样品的制备、生化反应和结果检测三个步骤集成在单一器件上,能执行特定的......
以紫外光光刻、硅蚀刻及软光刻技术制备了微柱阵列型细胞培养基底。实验发现,在4μm的结构高度下,当微柱特征尺寸大于或等于4μm时......
介绍以软光刻(soft-lithography)为主要手段的微加工技术制备应用于等电聚焦及高效液相色谱的PH值梯度微流芯片.此种PH梯度芯片具......
介绍以软光刻(soft-lithography)为主要手段的微加工技术制备应用于等电聚焦及高效液相色谱的PH值梯度微流芯片. 此种PH梯度芯片具......
设计并试制了由软光刻法转印,可敷设在印刷电路板上用于芯片间互连的光学互连线路。提出了一种新颖的端口耦合结构,并发现在耦合适......
设计并试制了一种新型垂直耦合光互连线路结构,可用于高速计算机内部等垂直堆叠的多层连通光互连的芯片间光信息通讯。其结构简单,......
采用软光刻技术中的微接触印刷(μCP)技术、表面诱导的水蒸气冷凝、表面诱导的去湿行为,在金基底上制作出了亚微米的环状周期结构......
提出一种利用Ag粉和聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane,PDMS）制成的复合材料加工微流控芯片3D电极的方法。选取导电性良好的银粉......
以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转......
使用弹性膜软光刻方法,制作了冠深为3μm,底面直径为25μm,焦长约64.05μm的柔性凹微透镜阵。本文给出了制作柔性凹微透镜阵列的详......
液滴微流控技术是近年来新兴的一种生化分析手段,因其高通量、高精度、高效率以及少消耗的特点,已被广泛应用于药物输运、单细胞分......
数字核酸扩增技术是一项对所检测的目标核酸分子进行绝对定量的技术,进行数字核酸扩增检测的前提需要将待检测的目标分子离散为独......
目的:应用双层软光刻技术和微流控芯片技术,制备以星形胶质细胞为桥梁,神经元-星形胶质细胞-脑微血管内皮细胞在同一立体空间或平......
最近,处理器速度和处理能力的迅速发展,显著提高了模块、线路板、背板和机柜之间的数据传输速率。在先进的高性能计算系统、交互多......
细胞微系统技术研究是目前细胞生物学、微系统科学及药物筛选等学科交叉领域的一个研究热点，其综合利用了微系统平台技术，将细胞的培......
本文介绍了国外新出现的微结构制造技术--软光刻技术,它提供了一种方便的、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法.讨论......
液滴微流控技术具有体积小、精度高等优点,目前已被广泛应用于微反应器、单细胞包裹分析、液滴数字PCR、药物输送和释放等领域。本......
在半导体工业，传统光刻技术早已成为制作大规模集成电路的支柱，由于光刻设备极其昂贵，并且传统光刻技术已经逐渐达到其分辨率极限，因此......
电场广泛应用于微流控系统中用以实现如流体混合,控制细胞或微粒等各种功能。这些电操作大多数是由薄膜金属电极实现的,在传统的IC......
设计并制作了一种紧凑型高聚物光功率分配器,该器件长度比传统器件结构缩短近1/3,实现了器件的微型化改进。利用设计仿真工具BeamP......
采用硅的各向同性湿法腐蚀的方法制作微流体阳模,比采用光刻胶制作阳模成本更低,而且在软光刻的过程中阳模不易被破坏。同时相对于......
在日益增长的宽带服务业务和接入需求的驱使下,光纤到户（FTTH）凭借其极大的带宽成为最理想的接入网技术。作为FTTH的解决方案,无源光......
集成光学是光电子学的一个新兴分支,是一门与光学、电子学、固体物理有关的边缘科学,是基于薄膜传输光频波段的电磁能而发展起来的......
介绍了一种用软光刻技术制作微流芯片上PDMS微混合器的工艺.首先用SU-8胶制作微模具,然后用复制压模法制作出PDMS微通道,最后用紫......
