软光刻技术相关论文
针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶......
介绍了软光刻技术中的一项关键技术--微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程.最后通过介绍其在加工Scottky二极......
航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器......
为了解决软光亥4技术中核心元件弹性印章的制备技术，对SU-8胶印模和聚合物弹性印章进行了工艺研究．通过多次实验和测量，获得了制作SU-......
利用软光刻技术在凸面基底上制备了光栅结构．以此凸面基底上制备的光栅结构作为模板,利用静电场诱导光刻技术实现了凹面基底上光栅......
引进与平面图案变形扭曲大小相称的角度参数θ，提出了一种对软光刻技术中PDMS印章的角度平面扭曲进行定量评价的方法。聚二甲基硅氧......
柔性微图形复制技术，是微加工技术发展的新方向，是柔性器件发展提出的必然要求。作为微加工技术的核心——传统的光刻技术，虽然在硅技......
现今,光学成像系统的应用领域越来越广,人们对其要求也不断提高,期望整个系统的重量轻、体积小、视场大以及对运动目标更加敏感。......
由直径为亚微米、单分散的无机或聚合物的胶体微球通过自组装过程形成的二维或三维的有序排列的聚集体通常被称为胶体晶体或合成蛋......
目前,国内外细胞生物学实验室还普遍采用传统的细胞研究手段,使用传统的细胞培养瓶、培养板等培养细胞,几乎所有的细胞研究过程都......
提出一种新型的频率可重构的微带贴片天线,以液态金属合金和高度可拉伸的弹性体分别作为辐射贴片和介质基板。液态金属使用的是由......
