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以SU—8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤以斜曝光工艺为主,制造一种新型的、小型化的、低成本的、三维的、高深宽比的微流沟道,......
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透镜是构成光路系统中基本而又重要的光学元件，它属于被动光学元件，用来汇聚、发散、准直光辐射。透镜阵列是由相同的透镜按一定的顺......
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随着近二十年来微电子机械系统(MEMS)技术研究的不断发展,逐渐产生了一个新的分支领域Bio-MEMS。随着人类对自身的生命健康越来越......
