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用腐蚀剥层并结合阳极氧化染色和磨角阳极氧化染色两种方法测试了半开管扩散InSb器件p-n结的结深.两种测试方法结果基本一致。通过......
利用闭管扩散方法以Zn3P2为扩散源,在不同扩散温度和扩散时间下对非故意掺杂InP(100)晶片进行扩散.用电化学C-V法(ECV)和二次离子......
介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备，着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制。......
介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉，着重介绍了设备结构组成及性能．并给出了工艺结果说明设备性能达到国内......
