隧道加速度计相关论文
设计了一种隧道加速度计,对器件结构进行了数值仿真分析;在此基础上对器件进行了工艺研究,做出了较为理想的结果;隧尖尺寸为0.02μ......
该文介绍了一种新型的扭摆式加速度传感器，应用隧道电流对隧道电极间距离的高敏感性，采用检测电流的方式，较以往的测试方法具有灵敏度......
介绍了量子力学中的隧道效应及其应用，对基于隧道效应原理的加速度计进行了深入研究，结合国内外研究现状，给出了一种隧道加速度计结构......
典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成，其基本结构图和工作原理框图如图1......
利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。......
本文主要阐述了闭环微硅加速度计的工作原理和动态模型,并与开环系统相比较,其一些静态和动态特性得到改善,同时,另外一些变差特性......
介绍了一种由高精度运算放大器及精密仪表放大器构成的隧道式硅微加速度计信号处理电路,通过分析信号处理电路的构成、信号输出的......
