【摘 要】
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A novel dual-depletion-region electroabsorption modulator (DDR-EAM) based on InP at 1550nm is fabricated.The measured capacitance and extinction ratio of the DD
【机 构】
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Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of S
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A novel dual-depletion-region electroabsorption modulator (DDR-EAM) based on InP at 1550nm is fabricated.The measured capacitance and extinction ratio of the DDR-EAM reveal that the dual depletion region structure can reduce the device capacitance significantly without any degradation of extinction ratio.Moreover,the bandwidth of the DDR-EAM predicted by using an equivalent circuit model is larger than twice the bandwidth of the conventional lumped-electrode EAM (L-EAM).The electroabsorption modulator (EAM) is highly desirable as an exteal electro-optical modulator due to its high speed,low cost and capability of integration with other optical component such as DFB lasers,DBR lasers or semiconductor optical amplifiers.[1-4]So far,EAMs are typically fabricated by using lumped electrodes[1-4] and travelling-wave electrodes.[5-15]
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