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[期刊论文] 作者：杭凌侠,
来源：真空科学与技术学报 年份：2005
本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的新方法,可用于沉积(或刻蚀)均匀大面积薄膜或...
[期刊论文] 作者：杭凌侠, Y.Yin,
来源：真空科学与技术学报 年份：2005
本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的新方法,可用于沉积(或刻蚀)均匀大面积薄膜或...
[期刊论文] 作者：杭凌侠,高爱华,,
来源：实验室研究与探索 年份：2006
阐述了实验教学工程化的必要性和可行性，并结合教学改革中的实际问题研讨了实验教学工程化的系统性和规范性问题。...
[期刊论文] 作者：弥谦,杭凌侠,
来源：西安工业学院学报 年份：1997
介绍了一种应用于脉冲多弧离子源镀膜过程的电子监控装置。用该装置定量检测冲多弧离子源的引弧效率，克服因停弧带来的膜厚误差的缺点，本文主要叙述了该装置的工作原理及关电路......
[期刊论文] 作者：杭凌侠,严一心,
来源：西安工业学院学报 年份：1996
介绍一种新型镀膜方法的工作原理及相关参数，介绍了采用这种新型镀膜方法镀制的类金刚石膜层的性能。...
[期刊论文] 作者：杭凌侠,刘政,,
来源：西安工业大学学报 年份：2007
采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度．当Ar气流量为20sccm，在不同的放电电压和引出电压下，测得离子能量分布范围为400～820eV，柬......
[期刊论文] 作者：王燕, 杭凌侠,,
来源：应用光学 年份：2019
光学减反膜是激光系统的重要组成部分,也是在激光照射下最容易发生损伤的部分,如何提高减反膜的激光损伤阈值是研究的热点之一。在保持目标透射光谱要求和膜系总光学厚度不变...
[期刊论文] 作者：张霄,杭凌侠,,
来源：光学技术 年份：2011
讨论了采用PECVD方法在K9玻璃基底上制备SiO2、SiNx、以及SiOxNy薄膜材料的工艺参数与薄膜光学特性、沉积速率的关系,并且运用掌握的工艺参数成功地制备了400～800nm波长范围双...
[期刊论文] 作者：杭凌侠,云自修,
来源：高校实验室工作研究 年份：1996
生产实习是高等工科院校实践教学的一个重要环节。在市场经济逐渐占据主导地位的今天,如何搞好生产实习,这是一个新的课题。一生产实习改革的必要性我们仪器工程系的光学工艺...
[期刊论文] 作者：严一心,杭凌侠,
来源：光学仪器 年份：1999
脉冲多弧离子源主要用来镀制类金刚石薄膜及金属、合金膜、研究了脉冲多弧离子源的引弧方法、放电的稳定性、离子源结构对镀膜均匀性的影响。在此基础上，研制了脉冲多弧离子源......
[期刊论文] 作者：Yin,杭凌侠,,
来源：真空 年份：2006
最近我们在实验中发现:射频等离子体系统中的高电位可以引发微弧放电,这种微弧放电现象不是发生在射频系统的输入极上而是发生在接地极上.这种相对于电极呈非对称分布的微弧...
[会议论文] 作者：黄发彬, 杭凌侠,,
来源： 年份：2004
532nm和1064nm激光作为激光致盲武器中的两个常用的波长,可对人眼和光电传感器件造成严重损伤。本文利用TFCalc软件设计了基于非等厚周期结构的25层双波段负滤光膜,研究了PEC...
[期刊论文] 作者：费海明,杭凌侠,,
来源：西安工业大学学报 年份：2017
针对硫系玻璃（IRG204）的低软化点特点,为研究等离子体辅助化学气相沉积法（PECVD）在硫系玻璃基底低温沉积薄膜的可行性以及工艺条件,通过氩离子轰击工艺确定基底可承受的离子辅助......
[期刊论文] 作者：杭凌侠,郭晓川,,
来源：西安工业大学学报 年份：2010
光学薄膜的表面粗糙度是影响薄膜光学特性的重要因素，薄膜表面产生的散射损耗将影响薄膜的光学质量．采用非平衡磁控溅射（Unbalance Magnetron Sputtering，UBMS）和脉冲真空电弧沉积...
[期刊论文] 作者：李松晓, 杭凌侠,,
来源：西安工业大学学报 年份：2018
为了研究SiO_xN_y光学薄膜在红外区的应用特性.文中采用PECVD技术沉积折射率为1.60的SiO_xN_y光学薄膜,设计制造了相同制备工艺参数(功率、温度、压强)的不同薄膜厚度样片和...
[期刊论文] 作者：杭凌侠,朱小琴,,
来源：西安工业大学学报 年份：2007
硬质碳膜中应力的存在限制了其应用，真空退火是降低内应力的有效措施．本文利用BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪和HXD-1000型数字式硬度计，对在硅基片上用非平衡磁控溅射制备的...
[期刊论文] 作者：蔡长龙,杭凌侠,等,
来源：光学仪器 年份：2001
通过大量工艺实验，镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源系统（主回路电,脉冲频率），基片高度以及磁场等工艺参数的样品，选择了一种合适的膜厚测量仪器进行了膜厚分布测量，获得了离子源......
[会议论文] 作者：朱小琴,杭凌侠,
来源：TFC'07全国薄膜技术学术研讨会 年份：2007
本文研究了不同温度下不同的真空热处理方式对碳膜的电学、光学和机械性能的影响，为找到合适热处理温度点来消除碳膜内应力来尽量保持碳膜的主要优良性能打下了基础。...
[期刊论文] 作者：潘永强,杭凌侠,,
来源：中国激光 年份：2011
采用电子束热蒸发技术在K9玻璃基底上以不同的沉积入射角沉积了单层TiO2薄膜,研究了不同入射沉积角沉积的TiO2薄膜的光学特性、填充密度和表面粗糙度,并比较了不同膜层厚度下...
[期刊论文] 作者：杭凌侠,沙维敏,,
来源：西安工业大学学报 年份：1984
1982年6月,我们用GCH—1型传函测定仪,对焦距变换分别为18、28、44、69、108毫米的6×采访电视变焦距物镜进行了测量。本文主要谈谈如何测量该物镜的象面位移以及评价物镜质...
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