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[期刊论文] 作者：高艳涛,张晓丹,朱锋,魏长春,孙建,赵颖,
来源：人工晶体学报 年份：2006
采用甚高频等离子化学气相沉积技术（VHF—PECVD）制备了系列p-i—n型微晶硅太阳电池，研究了电池有源层硅烷浓度的变化对电池性能的影响。结果发现：随着硅烷浓度的提高电池的短路电......
[期刊论文] 作者：高艳涛,张晓丹,赵颖,孙建,朱峰,魏长春,,
来源：物理学报 年份：2006
采用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)的方法制备了硅烷浓度分别为6%和7%,随激发频率变化(40—70MHz)的氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料.研究了材料的电学特性、结构...
[期刊论文] 作者：张晓丹, 高艳涛, 赵颖, 朱锋, 魏长春, 孙建, 侯国付,
来源：人工晶体学报 年份：2005
本文集中报导了不同硅烷浓度条件下,制备的系列硅薄膜电学特性和结构特性的分析研究。结果表明:随着硅烷浓度的逐渐减小,材料逐渐地由非晶向微晶转变。傅立叶变换红外吸收 (F...
[期刊论文] 作者：张晓丹, 赵颖, 高艳涛, 陈飞, 朱锋, 魏长春, 孙建,,
来源：物理学报 年份：2006
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅薄膜太阳电池,指出了气体总流量和背反射电极的类型对电池性能参数的影响.电池的I-V测试结果表明:随反应气体总流量...
[会议论文] 作者：朱锋, 魏长春, 张晓丹, 孙建, 高艳涛, 赵颖, 耿新华,
来源： 年份：2004
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[期刊论文] 作者：张晓丹, 赵颖, 高艳涛, 朱锋, 魏长春, 孙建, 耿新华,
来源：真空科学与技术学报 年份：2005
本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备出了系列不同功率的微晶硅薄膜.对薄膜的电学特性和结构特性进行了测试分析,结果表明:制备出了光敏性在500～700、激活能在0.5...
[期刊论文] 作者：高艳涛, 张晓丹, 赵颖, 朱锋, 魏长春, 孙建, 耿新华,
来源：真空科学与技术学报 年份：2005
采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和功率的微晶硅薄膜.材料的电学特性和结构特性测试结果表明:制备出了符合太阳电池用的本征微晶硅薄膜.材料应用于电池中,制备出了...
[期刊论文] 作者：张丽珠, 张晓丹, 赵颖, 朱锋, 魏长春, 高艳涛, 耿新,
来源：光电子技术 年份：2004
用光发射谱(OES)和喇曼散射谱(Raman)研究了VHF-PECVD制备硅薄膜的结构特性.OES测试结果表明:随功率增加,对应各基团峰的强度增大;结合喇曼的测试结果,OES谱得到的结果可以用...
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,朱锋,高艳涛,麦耀华,魏长春,孙建,耿新华,熊,
来源：太阳能学报 年份：2006
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术制备了不同硅烷浓度系列的微晶硅电池。结果表明：电池的开路电压随着硅烷浓度的增大而逐渐增加，而电池的短路电流则先增加后......
[期刊论文] 作者：张晓丹,高艳涛,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：人工晶体学报 年份：2005
本文对VHF-PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究.电学测试结果给出制备薄膜的激活能为0.51eV,符合电池对材料的电学参数要求;拉曼散...
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：人工晶体学报 年份：2006
本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池。电池的I-V测试结果表明：电池的开路电压随功率的降...
[期刊论文] 作者：张晓丹,高艳涛,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：人工晶体学报 年份：2005
采用VHF-PECVD技术制备了系列不同衬底温度的硅薄膜.运用微区拉曼散射(Micro-Raman)和X射线衍射(XRD)对薄膜进行了结构方面的测试分析.Micro-Raman测试结果表明:随衬底温度的...
[期刊论文] 作者：张晓丹,高艳涛,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：半导体学报 年份：2005
采用VHF-PECVD技术制备了系列微晶硅太阳电池．综合测试结果表明：硅烷浓度、热阱温度和前电极都对微晶硅太阳电池的性能有影响．在湿法腐蚀的ZnO衬底上制备的电池的效率比在ZnO／SnO......
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,麦耀华,高艳涛,孙建,侯国付,耿,
来源：光电子．激光 年份：2005
采用VHF-PECVD技术制备了不同结构的Si薄膜,用喇曼(Raman)散射光谱和光热偏转谱(PDS)分别对材料的结构进行了研究.结果表明:Si薄膜的结构随温度的升高、功率的增大及H稀释的...
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：半导体学报 年份：2006
对甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备的微晶硅薄膜太阳电池进行了研究.喇曼测试结果显示：微晶硅薄膜太阳电池在p/i界面存在着一定的非晶孵化层.孵化层的厚度随硅烷浓度...
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：电子学报 年份：2005
采用微区拉曼散射、傅立叶变换红外吸收和光热偏转谱对VHF-PECVD制备的不同衬底温度硅薄膜进行了微结构分析.结果表明:随衬底温度的升高,薄膜逐渐由非晶向微晶过渡,晶化率(Xc...
[期刊论文] 作者：张晓丹,高艳涛,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：液晶与显示 年份：2005
采用VHF-PECVD技术在多功能系统(cluster tool)中制备了系列硅薄膜,研究薄膜的均匀性及电学特性和结构特性.结果表明:气压和功率的合理匹配对薄膜的均匀性有很大的影响;材料...
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,麦耀华,高艳涛,孙建,耿新华,熊,
来源：物理学报 年份：2005
运用二次离子质谱研究了甚高频等离子体增强化学气相沉积制备的不同硅烷浓度和功率条件下薄膜中的氧污染情况.结果发现:薄膜中的氧含量随硅烷浓度和功率的变化而改变.制备的...
[期刊论文] 作者：张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：真空科学与技术学报 年份：2005
本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备出了系列不同功率的微晶硅薄膜.对薄膜的电学特性和结构特性进行了测试分析,结果表明:制备出了光敏性在500～700、激活能在0.5...
[期刊论文] 作者：高艳涛,张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和功率的微晶硅薄膜.材料的电学特性和结构特性测试结果表明:制备出了符合太阳电池用的本征微晶硅薄膜.材料应用于电池中,制备出了...
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