真空规相关论文
介绍了DIL 805A/D型膨胀仪的工作原理及结构组成和几个典型故障的诊断与维修,为该仪器故障的快速诊断和维修提供了参考.......
正确测量真空参数的关键环节是选择合适的真空规.有腐蚀性物料的真空系统对真空规的选用有特殊要求,因此对该条件下真空规的选用进......
本文探讨了高效率的稳定发射电流装置,提出了用单片机控制发射电流的方法。我们在实际中已采用了这种方法,电路简单,成本低廉,可靠性高......
程控式真空规校准装置主要用于日常对工作用真空规的校准。它采用动态直接比对法、静态膨胀法和静态直接比对法等三种方法可以对1×......
本文提出了应用石英晶体谐振天平技术测量返油率的新方法。通过理论分析和试验研究,证明这种方法可以推广应用。返油率在10-3~10-4mg/cm2·min量级上进......
动态流量法超高真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。极限压力6.5×......
本文分析了影响极高真空规测量下限的几个限制因素,介绍国外极高真空测量技术的最新发展状况。阐述了具有贝塞尔盒离子能量过滤器的......
本文介绍了半导体制造专用设备的真空检漏的原理、方法 ,以及用该方法解决实际问题的一些实践经验。
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一、引言早在50年代初,J.M.Lafferty就研究了六硼化镧阴极的电子发射特性。70年代中期以后,六硼化镧阴极广泛地应用于现代技术的......
国家监督机构的实验室和生产与使用真空计的部门,经常向全苏门捷列夫计量科学研究院询问有关高真空计的检定规则和条件等问题。鉴......
一、引言任何基于气体分子电离的真空规的灵敏度很大程度上取决于气体的性质。然而众所周知,给定气体的相对灵敏度 R 对标准气体......
只有指出实测数值的不确定度或误差时,确定实测物理量的值才是有意义的。在低气压的测量中,由于使用者既不知道误差,又没有可能使......
一、概述: 使用PL-3规管之热偶真空计,是目前压强在10-1-10-3托量程中,是最广范使用的一种真空计。第一它具有在10-1-10-3托压强范......
一、前言 在四十年代后期,真空技术巳得到大力发展,应用越来越广泛,但对真空计量标准的研究,直到六十年代才予以重视。虽然重视较......
一、概述我厂研制的 LD-03型冷阴极电离真空计,是用于测量真空系统10~(-10)—10~(-4)托范围内压强值的测量仪器。该真空计的特点......
ZGY-114Z 数字压力计是采用中大规模集成电路和集成化固态压阻真空规组合而成的精密压力测量仪器。在固态压力传感器的基础上经移......
本文提供了一些热阴极电离规校准稳定性的数据,这些规是用于0.0002—0.2 Pa范围的普通三极管型规和用于 0.0002—0.02 Pa范围的BA规。为得到压力读数的最高精......
热偶真空计长期以来是低真空主要的普及型测量仪器,至今仍得到相当广泛的应 用。本文讨论热偶真空规安装环境光热辐射与安装方位对......
1984年4月23日~4月25日在杭州召开了浙江省青田真空仪表厂生产的 QLJ-1型冷阴极中真空规鉴定会。来自全国各地的40多名代表对该厂......
为了使读者更好的理解“大型真空容器检漏的基础实验”一文,我们约请本文的校阅者肖祥正同志写了这篇校阅后记。
In order to mak......
本刊77年第5期发表了“真空科技领域内的国际单位制”一文[1]。根据许多同志的反应和宝贵意见,本文对国际单位制作些补充说明,并举......
一、引言 在第八届国际真空会议上共发表了有关真空测量方面的文章十九篇,其中真空规研究九篇,真空校准研究四篇,质谱分析研究六篇......
一、引言近年来,真空计量学(Vacuum Metrology)这一术语越来越多地出现在真空技术的有关文献中,这标志着真空计量标准已发展到一......
1.引言在电子管的全盛时期,对阴极材料就有了很多研究,并研制出了许多性能良好的料料。其中尤以氧化物阴极的性能为最好,不管是接......
本文提出了一种带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统。用锆铝泵或钛球升华泵可长时间使密封系统平衡在较低的本底压强(用钛升......
本文提出一种对贱金属热丝简单预处理方法,可使热偶真空规校准曲线在它的通常量程(从133帕斯卡至0.2帕斯卡)内,稳定性有很大提高。......
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本文简述了封闭真空系统压强升高率的特性。并将它应用于判断大型真空系统出气与漏气的情况上。 1.引言 在一个封闭真空系统中(即......
扩散泵是一种利用高速定向蒸汽流喷射抽气原理制成的真空获得设备。按泵的构成材料来说可分为金属扩散泵和玻璃扩散泵两类,按使用......
真空漏率校准装置可以对(10~5~10~(-4))Pa范围内的各种真空计和(10~(-7)~10~(-9))Pa·m~3/s的真空漏孔进行校准。该装置的特点是结......
1.前言真空技术属于实验物理的基础技术的一个分支,是随着原子物理、电子工业等领域的发展而发展起来的。超高真空的获得和测量由......
合肥工业大学于1984年11月1日至11月7日举行1984年学术报告会。大会邀请了全国有关专家、学者光临指导。中国真空学会常务理事、机......
合肥工业大学真空技术及设备教研室,根据半导体感温特性,利用微电子平面工艺,经过三年多的努力,研制成功宽量程半导体真空规。来自......
由国际真空科学,技术和应用联合会和美国真空学会主办和组织的第十届国际真空会议、第六届国际固体表而会议与第33届美国真空年会......
由上海市科技开发交流中心和江苏省海门县仪表厂共同研制的稳定型热偶真空计于68年6月中旬正式投入生产。该产品采用ZJ──54B稳定......
一、引言科工委真空计量一级站赴西欧考察团一行六人于1987年9月访问了西德物理技术研究院(PTB)布伦瑞克总部及其西柏林研究分所......
在真空计的校准工作中,为了统一真空量值,保证量值的精确传递.必须科学地制定检定规程.详细介绍了比对法校准的若干规定.符合国际......
低温泵利用低冷凝和捕集来抽气,它不给被抽容器带来污染,因而是十分清洁的泵。然而早期的低温泵需用液氮或昂贵的液氦来制冷,这就......
本文介绍利用视角系数法对我们所建造的相对比对真空校准系统内的分子流场的分析计算过程;研究了系统内气流分布状态和限流膜孔大......