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该文研究了不同金属化系统对硅高频大功率管发射结的影响。金属化为具有ＴｉＮ、Ｗ、Ｍｏ阻挡层的Ａｕ金属化系统。对其ＥＢ结进行了高温大电流应力和高温存储试验，高温大电流试验结果表明采用ＴｉＮ作阻挡层的管子的寿命比用Ｗ作阻挡层的管子提高了两倍多。高温存储试验表明用ＴｉＮ作阻挡层的管子和用Ｗ作阻挡层的管子具有较好的耐高温特性，与Ｍｏ作阻挡层的管子相比它们所承受的温度更高。