【摘 要】
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ＢＧ—１０１Ｊ型分步光刻机实用化成果鉴定会概况ＢＧ—１０１Ｊ分好重复投影光刻机实用化是国防科工委和电子部下达的“八五”重点型谱攻关项目，其主要内容是采用电子工业部第四十五研究所研制的分步
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ＢＧ—１０１Ｊ型分步光刻机实用化成果鉴定会概况ＢＧ—１０１Ｊ分好重复投影光刻机实用化是国防科工委和电子部下达的“八五”重点型谱攻关项目，其主要内容是采用电子工业部第四十五研究所研制的分步投影光刻机制做ＬＣ８０Ｃ８６系列军用微机电路。项目从１９９１年８...
BG-101J Stepper Lithography Practical Results Identification Conference Overview BG-101J points good repetitive projection lithography practical application of the National Commission of Science and Technology Commission and the Ministry of Electronics issued the “eight five” key type spectrum research project, the main content Is the 45th Institute of Electronics Industry developed by step-by-step projection lithography mechanism LC80C86 series of military computer circuits. Project from 1991 8 ...
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