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高精度的预对准分系统是设计现代光刻机需要解决的核心问题之一。在光刻机上载基板的工作过程中。需要进行多次基板对准．主要有：基板......
为了提高工作在水下环境下的单轴旋转捷联惯导系统的导航定位精度,给出了惯导系统姿态和航向角在线组合校正流程,提出了一种基于速......
弹道导弹运载子母弹头能够有效的进行远距离、大面积的打击。子弹头由于承载能力限制,通常携带体积较小、精度较低的惯性器件;而母......
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