叠栅条纹相关论文
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点，讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理，利用......
在全息光栅曝光光路中，基底的定位误差会直接影响光栅的技术指标。对平面全息光栅会造成光栅周期误差，对凹面全息光栅则会增大其像差......
提出一种基于复合光栅的对准方法，满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正......
在线光栅用于纳米光刻对准理论的基础上，为实现光栅方向的标定和掩模硅片对准，提出一种利用相位斜率消除角位移的新方法，并给出线光栅......
提出了一种利用方形孔径微透镜阵列和微图形阵列产生的二维叠栅条纹测量微小角度的方法。分析了不同尺寸阵列产生的二维叠栅条纹的......
研究了方形孔径平面微透镜阵列和微图形阵列的叠栅条纹的傅里叶原理。方形孔径平面微透镜阵列可视为正交的二维栅格线簇, 以一维光......
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度，抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移，提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅......
为了提高光电编码器速度检测精度,设计了一种基于叠栅条纹光电信号的编码器测速方法。结合全微分方程,建立叠栅条纹光电信号测速模......
本文提出了一种叠栅条纹解调技术，我们称它为频移叠栅法，它不同于相移叠栅法，前者改变了叠栅条纹分布的频率，后者只是改变了叠栅条纹的......
双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点,适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量,实际应用中要求掩模光栅标记与硅......
提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产......
随着半导体制造步入1xnm技术节点时代,调焦调平系统的测量精度达到几十纳米。在纳米尺度范围内,集成电路(IC)工艺对调焦调平测量精......
为减小圆光栅测量过程中叠栅条纹信号的细分误差,提出了一种对叠栅条纹采样信号进行参数辨识与偏差补偿的方法。该方法运用遗传算......
叠栅条纹相位差测量是光栅位移测量中的关键技术,在两块光栅相对运动过程中,叠栅条纹信号的频率会因光栅夹角误差的存在而发生偏移......
利用电寻址液晶光阀系统生成叠栅条纹,对教学实验室中较难实现的圆形光栅及其动态叠栅条纹进行了模拟,并且利用电寻址的动态叠栅条......
将数字图像处理技术应用于叠栅条纹测量物体三维形状,使用Inter公司的开源视觉库OpecCV,经过灰度化、锐化和去噪、叠加虚参考光栅......
利用光栅式位移传感器测量了不同缝宽的单缝衍射的相对光强.本文介绍了光栅式位移传感器的测量原理、光栅测量系统、实验装置和调......
以 8 0 5 1单片机为核心 ,结合叠栅条纹技术 ,研制出一种测量杨氏模量的智能光电系统 ,解决了杨氏模量的高精度测量问题......
采用叠栅条纹技术可以实现对位移量进行精确测量和控制.从叠栅条纹的产生,光电信号的转换,到对信号的鉴零、编码、计数、显示和控......
通过对材料弯曲模量实验的研究,选择用双光栅叠栅条纹测量技术,替代原实验中的光杠杆测量装置,对实验中待测钢梁弯曲形变的微小位......
本文详细讨论了双频全息光栅的空间衍射特性，指出利用双频全息光栅的空间衍射特性可以方便地获得了等强度光束干涉场，该干涉场既可有......
大口径长焦距透镜的波面检测目前仍没有一种行之有效的方法。为解决此问题,结合塔尔博特效应、叠栅条纹检测等现有技术手段,提出一......
导出了双光栅相对旋转时的叠栅条纹光电信号与栅线夹角之间的关系式,讨论了双光栅相对旋转测量小角度的范围.......
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将叠栅条纹测量技术和CCD器件结合应用于角度和位移的智能测量系统，该系统利用光栅的衍射自成像现象产生虚拟光栅，与另一光栅形成叠......
近年来,纳米技术得到了迅速发展,在微电子工业、材料制备、航天航空、生物医学展现了广阔的应用前景,成为21世纪科技革命的三大核......
<正> TB96 98053405用光功率计GP—IB接口实现自动测量=Realiza—tion of automatic measurement with GP—IBinterface of optica......
针对叠栅条纹图像在精密测量方面的应用需求,提出了一种基于图像局部自相似性和去块效应后处理的超分辨率算法。该算法利用叠栅条......
光栅衍射波像差作为全息光栅重要的技术指标之一,直接影响光栅分辨率,其中曝光光学系统的调节误差是引起光栅衍射波像差的主要因素......
随着科学技术不断的发展,平面微透镜阵列的制作技术日益成熟,特别是光刻离子交换技术。这种方形孔径微透镜阵列的制作是将透镜单元......
方形孔径平面微透镜阵列是采用光刻离子工艺在特殊玻璃基片上制作的微透镜阵列。这种方法制作的微透镜掩埋在玻璃基片的表面下方,......
介绍了一种简单而实用的大口径脉冲压缩光栅光路调节方法,有效解决了普通光路调节方法中轴向调节精度不高的问题。首先由全息透镜(......
增量式光学编码器根据径向辐射光栅产生的叠栅条纹进行角度测量 ,两光栅码盘轴之间及其与系统转动轴之间的偏心和晃动 ,影响着编码......
光栅编码器装调的偏心误差和使用中安装转轴的振动严重影响光栅编码器的测量精度,限制了光栅码盘的应用范围。为了消除光栅编码器......
使用单片机对增量式光电轴角编码器产生的叠栅条纹信号进行计数和电子细分,便可将轴的机械转动模拟量转换成数字量;加上固定参考零......
