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基于MEMS的姿态检测系统是一种新型惯性测量设备,能够实时提供载体横摇、纵摇和航向等姿态信息,具有成本低、体积小、功耗低、便携......
本文为提高MEMS器件的摩擦学性能,通过磁控溅射系统在单晶Si(100)基片上沉积了WS(C)薄膜、WSN薄膜和WSCN薄膜。薄膜的晶相结构、组......
近年来,随着微机电系统MEMS(Micro Electrical Mechanical System)的快速发展,基于微机电系统技术的捷联惯性导航系统(Strap-down ......
为比较真实地模拟可动微机电器件侧面间的摩擦磨损状况,进而研究MEMS器件的摩擦磨损规律,设计和研制了一种基于单晶硅材料的微摩擦......
信利光电2015年业绩呈现下滑趋势，其单一的主营业务正在经历无限期的寒冬。 3月17日，信利光电发布招股书申报稿，募集资金用于置换......
根据鱼类侧线听觉仿生学原理，设计出硅微仿生矢量水声传感器结构．该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤......
具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系......
卫星导航系统实现导航定位功能要求可见星数大于等于4颗,这一限制影响了卫星导航系统在信号遮挡严重环境下的应用,如城市峡谷、大......
微尺度流动中的混合一直是微流系统研制中的一个大问题,对壁面zeta势非均匀分布情况下的二维微槽道电渗流进行了数值分析,重点分析......
成果简介： 本项目开发了可用于宽幅打印机的独特微机电器件。由于喷墨印表頭、封装及系统整合的开发，设计平台已经就绪可进行量产。......
为比较真实地模拟可动微机电器件侧面问的摩擦磨损状况，进而研究MEMS器件的摩擦磨损规律，设计和研制了一种基于单晶硅材料的微摩擦试......
神经芯片是一种用硅微加工技术制造的微机电器件。活体的哺乳动物神经元细胞在神经芯片上培养存活，通过外加电路的控制，人们可以方便......
随着微机电器件和通讯技术的发展,主轴智能化越来越引起人们的注意,需要从控制软件和工况监控两方面入手,使主轴能够随时感知工况......
以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金......
针对某型激光驾束导弹微机电(micro electro mechanical systems,MEMS)速率陀螺仪和加速度计测量噪声大的问题,提出采用姿控舵偏角......
