微杠杆相关论文
硅微谐振式加速度计是基于MEMS（Micro Electric-Mechanical System）技术的一种微惯性器件，通过检测谐振器频率的变化来敏感加速度大小......
硅谐振式加速度计(SOA)精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景.介绍......
为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度，设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构，从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差，设计了误差消除......
为提高谐振式加速度计的灵敏度，设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构；用解析法分析了加速度计灵敏度和......
提出了一种高性能氮化铝（Al N）差分谐振式加速度计结构。通过引入两级微杠杆来放大质量块的惯性力,提高灵敏度;采用＂I＂形支撑梁来降低......
提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,......
期刊
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基于机械杠杆的位移放大效应,提出了一种具有微杠杆结构的电容检测式微机械陀螺结构,所设计的杠杆放大机构设置在陀螺的检测模态中......
谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅......
从基于DDSOG（Deep Dry Silicon on Glass）工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,阐述了加速度计中微杠杆结构对惯性力的放大作用,证明了......
提出了一种新型压阻式加速度计结构,采用微杠杆放大质量块的等效惯性力,将微杠杆结构输出端作为压敏电阻梁,采用双边对称结构设置4......
为了提高微机电系统中微执行器的作用距离,设计了一种全硅结构的微型柔性力-位移传动机构,用于放大微执行器的输出位移。建立了传......
本论文提出了一种带有柔性微杠杆的MEMS谐振式电荷传感器,包括理论分析、仿真优化、加工和实验验证。传感器基于DETF (Double-ende......
设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰......
