硅微谐振式加速度计相关论文
硅微谐振式加速度计与传统加速度计相比,具有体积小、功耗低且抗干扰能力强等优势,已成为加速度计领域的研究热点。目前硅微谐振式......
封装是MEMS传感器制造过程中的重要环节,能够为MEMS芯片提供机械保护、电连接、散热等功能。但同时封装结构失配也会造成封装效应,......
设计了一种基于微杠杆原理的推挽式高精度、高灵敏度的硅微谐振加速度传感器.采用微杠杆放大结构,并通过单连接梁推挽谐振器实现力......
硅微谐振式加速度计是一种高精度MEMS传感器,它可以将输入加速度信号直接转化成频率信号。本文依托实验室自主研制的硅微谐振式加......
硅微谐振式加速度计将被测加速度信号转换为谐振器频率的变化，直接输出数字信号，具有很高的灵敏度和分辨率，是一种具有潜在高精度特性......
硅微谐振式加速度计（MSRA）凭借其潜在的高精度特点成为微加速度传感器领域的重点研究方向之一。相位环路的控制精度直接决定了MSRA的......
将遗传算法与低频模型相结合,提出了一种快捷的驱动电路设计方法,用于提高低功耗硅微谐振式加速度计模拟驱动电路的瞬态性能,并缩......
硅微谐振式加速度计(SRA)相比传统的高精度加速度计具有尺寸小、质量轻、功耗低的优点,相比于电容式等其他原理的微机电(MEMS)加速......
零偏和标度因数稳定性是衡量加速度计性能的两个重要参数.为了降低硅微谐振式加速度计的温度敏感性,对其温度影响机理进行了深入研......
硅微谐振式加速度计是一种通过检测谐振梁频率的变化来敏感运动载体加速度信息的惯性器件,其敏感结构采用MEMS体硅工艺制备。它具......
从基于DDSOG（Deep Dry Silicon on Glass）工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,阐述了加速度计中微杠杆结构对惯性力的放大作用,证明了......
以自主研制的硅微谐振式加速度计(MSRA)为研究对象,针对其驱动电路的带宽测试,设计一种基于锁相环解调电路的带宽测试方案。针对锁......
硅微谐振式加速度计的非线性振动可以导致振动幅度噪声耦合到频率输出进而恶化器件的噪声性能,因此有必要对谐振式加速度计的非线......
硅微谐振式加速度计是一种具有潜在高性能的MEMS加速度计,在军用领域和民用领域都有广阔的应用前景,但是温度变化会严重影响硅微谐......
设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统（MEMS）结构,......
为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计......
