过滤阴极真空电弧相关论文
高速飞行器的光电窗口对于探测器至关重要,易受高能武器的干扰,因此高能武器防护技术就极其重要。热致变色薄膜由于具有瞬时高温特......
有不同厚度的像钻石的碳(DLC ) 电影被过滤阴极真空弧(FCVA ) 扔。Vis-Raman 和分光镜的 ellipsometry 被采用分析 DLC 电影的结构......
以弧源过滤阴极真空电弧镀膜(Filtered Cathodic Vacuum Arc,以下简称FCVA)技术,在硬质合金钻头、铣刀上镀ta-c,加工R14高硅铝合金......
为了满足大尺寸红外窗口和探测器的增透和保护要求,利用过滤阴极真空电弧沉积技术,制备了性能优异的大面积均匀无氢类金刚石薄膜.......
JM-1型纳米金刚石离子镀膜机是成功应用最新一代镀膜技术——过滤阴极真空电弧(FCVA)技术进行生产的镀膜系统.该论文以该镀膜设备......
采用过滤阴极真空电弧技术 ,通过施加 0— 2 0 0 0V衬底负偏压使沉积离子获得不同能级的入射能量 ,在单晶硅上制备了四面体非晶碳......
采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜.利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应......
二次电子倍增引起的微放电效应已经成为制约空间通信技术发展的重要因素。提出采用纳米级四面体非晶碳(ta—C)薄膜抑制二次电子发射......
采用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,在-190~600 ℃范围研究非晶金刚石薄膜的温度敏感性.利用液氮泵在Linkam试验台上冷却......
采用过滤阴极真空电弧技术,以高纯磷烷气体为掺杂源制备掺磷四面体非晶碳(ta-C:P)薄膜.利用X射线光电子能谱和激光拉曼光谱表征薄膜的成......
为了提高薄膜声表面波器件工作频率,并增强功率承受能力,采用过滤阴极真空电弧技术制备四面体非晶碳(ta-C)薄膜,用作IDT/ZnO/Si结构......
利用离面双弯曲过滤阴极真空电弧沉积系统,在Φ 200 mm单晶硅片上制备四面体非晶碳薄 膜.利用 Dectek3型表面轮廓仪检验膜厚均匀性......
为了深入理解过滤阴极电弧沉积非晶金刚石薄膜的光学性质,利用光谱椭偏仪研究了薄膜光学常数随测试偏振光波长变化的谱学关系,进而分......
采用电沉积法在过滤阴极真空电弧技术合成的掺磷四面体非晶碳(ta-C∶P)薄膜表面沉积纳米金团簇,制备纳米金修饰的掺磷非晶碳(Au/ta-C......
采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在p(100)单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜,并利用表面轮廓仪测试薄膜的......
为了探讨膜厚对四面体非晶碳薄膜拉曼结构表征和内应力的影响规律,进而确定应力与拉曼光谱之间的关系,采用过滤阴极真空电弧技术以相......
采用过滤阴极真空电弧技术,通过施加不同衬底偏压制备了非晶金刚石薄膜.利用纳米压痕仪和光谱椭偏仪测试薄膜的力学性能和光学性能......
氧化镉(CdO)是一种非常重要的透明导电氧化物(TCO)材料。但CdO光学带隙较小,可见光透过率较低,这些不足严重限制了其应用范围。利用......