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介绍了用电子束直写技术在GaAs圆片上制作≤0.5μm栅和T形栅的工艺技术,并在GaAs器件的研制中得到应用。
The technology of maki......
1引言作为在CATV行业最早推出GaAs模块的公司,PDI经过多年的探索和市场考验,最新推出了适应中国市场的系列GaAs模块,该产品秉承了G......
基于近几年的文献报道,综述了110GHz以上固态功率放大器的现状和电路结构。归纳了每个固态放大器的工作频率、制作工艺、最大输出功......
介绍了用光学制版设备制作GaAs器件光刻中除栅条掩模版外的其它各层掩模版,用高分辨率电子束制版设备制作线宽≤0.5μm、并能与光......
(Al.Ga)As-GaAs高电子迁移率晶体管(HEMT)具有跨导大、截止频率高、噪声低、开关速度快以及功耗低等特点。是一种比MESFET优越的新型器件。在器件模拟这一领域......