MEVVA源相关论文
本文首次采用金属气相真空弧离子源(Metal Vapor Vacuum Arc Ion Source,简称MEVVA源)进行离子注入在硅(100)上合成了具有自组装效......
研究了M EVVA离子注入机在F e/S i系薄膜制备过程中产生的颗粒污染问题以及颗粒污染对薄膜质量带来的影响。选取不同制备条件下的F......
采用MEVVA源将低能量(40 keV)C离子注入单晶硅,用Raman光谱和SEM对试样进行了表征,用纳米压痕仪和球-盘式摩擦磨损试验机分别测试......
采用金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入技术,将Ni离子注入到类金刚石(Diamond.1ikeCarbon,DLC)膜中,并重复沉积和注......
采用改进了的MEVVA源阴极对H13钢进行了C+Mo共注入,并做了X射线衍射分析、电化学测量和表面形貌分析.实验结果表明,C+Mo共注入后H1......
为解决麦瓦(MEVVA)离子源束流的径向分布均匀性问题,采取了加入会切磁场的方法. 会切磁场的安放位置不同得到束流分布均匀性的程度......
利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入机在溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜上注入V+.薄膜表面的形态和结构分别用扫描电子显微镜(SEM)和X......
详细介绍了50型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能.50型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担......
利用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪对金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍等离子体的发射光谱进行采集,并......
期刊
首先综合介绍了稀磁半导体(Diluted Magnetic Semiconductors, DMSs)的基本理论和应用前景,以及In2O3材料的结构、性质和用途,并介......