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介绍用于 0 .35μm投影光刻机的逐场调平技术 ,讨论其检测和控制原理 ,并作精度分析 ;讨论逐场调平对套刻精度的影响 ,并建立三轴......
在蠕变试验中使用了各种方法测量应变。不论用什么方法,不论直接测量或间接测量,它都是假定所测量的应变是在试样标距内产生的伸......
电子束曝光技术是目前制造亚微米高分辨率微细图形掩模的主要手段.该文主要研究EeBES-40A型光栅扫描电子束曝光机工件台控制扫描系......
方法一:rn(1)取出惰齿轮,使正时齿轮之间不啮合,曲轴与凸轮轴失去连接.rn(2)摇转曲轴,使第一缸活塞处于压缩上止点位置,即飞轮轮缘......
1.介绍。资料来源:膀胱癌是全球第9大常见癌症,年发病率为43万例。在癌症相关死亡率方面,它排在第13位,受影响的男性是女性的6倍。......
介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统，分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述，阐述了采用......
<正> 前 言 机器视觉系统应用计算机获得图象并进行判断,进而作出决定。作出的决定可以是检查结果,也可以是机器或机械手下一步控......
分析基于平面方格点的摄像机标定算法，指出基于表征靶标平面到图像平面映射的矩阵的求解存在标定点的相关性问题。通过引入基准系统......
分步投影光刻设备对准系统是由嵌在工作台上的一组基准标记、一套离轴对准系统和一套掩模对准系统组成.当工作台上的基准标记运行......
