微动台相关论文
六自由度磁悬浮微动台具有在高洁净度、高真空度环境下获得多自由度、高速高加速度、高定位精度等运动性能的潜在能力。其驱动单元......
本文针对OLED喷墨打印过程中存在角度、直线度误差的问题,确定基板载台在运动平台中的主要误差为偏摆误差(Yaw)和水平直线度误差.......
平台系统是整套应用于医学上对细胞切割系统中的一部分，使其承载操作臂精密微动。基于视觉的多自由度微操作平台控制系统是一种图像......
本论文通过对多自由度微位移机电系统的驱动单元和微位移机构的探讨，在分析和研究了国内外现有研究成果的基础上，提出了一种新型的三......
针对在纳米级运动控制中,传统PID算法的参数配置在抑制系统运动超调、提高系统定位精度,以及保障系统稳定性等方面存在矛盾的问题,......
期刊
设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静......
分析了两类柔性微动直线导轨的结构特点,提出一种以刚度比指标来综合衡量柔性微动直线导轨导向性能的方法.基于Castigliano(位移)......
为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度，从弹性力学角度出发，对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模，并全面分析了其动态......
介绍了平行弹性铰支二维、三维微动台的形成原理、设计方法,讨论了影响它们精度的因素,以及静态特性.......
本文介绍了基于压电陶瓷驱动器的一维压电陶瓷微动台，选取了一款合适的压电陶瓷驱动器，并按其特性及微动平台设计要求设计了驱动电源......
针对目前单一的驱动方式日益不能满足越来越多的微操作的要求，提出了利用步进电动机和压电驱动器组成宏／微双驱动的微操作平台。步进......
针对目前单一的驱动方式日益不能满足越来越多的微操作的要求；提出了利用步进电机和压电驱动器组成宏／微双驱动的微操作平台。步进电......
平台系统是整套应用于医学上对细胞切割系统中的一部分,使其承载操作臂精密微动。基于视觉的多自由度微操作平台控制系统是一种图......
研究设计一种新型的、以压电陶瓷为驱动器的三维微动台结构.该微动台以柔性铰链为弹性导轨实现了微定位.分析所采用的直圆柔性铰链......
文章设计了一种新型压电式双自由度微位移工作台,提出了一种采用直角双杆机构代替平行四杆机构实现双自由度运动的方法;基于卡氏第......
粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动,它由微动台和滑块组成,而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度。......
在分析了光刻机掩膜台微动台（简称微动台）结构的基础上,对微动台的六自由度运动进行了几何解耦,将其分解为两个三自由度上的解耦,并......
多自由度磁悬浮微动台具有定位精度高、响应速度快、无摩擦、兼容真空环境等优点,在半导体光刻系统、超精密测量、生物芯片技术等......
微动台是光刻机工件台系统的核心部件,进行光刻前,需要将微动台方镜调整至光刻机系统激光干涉仪测量范围内寻找系统零位。调整过程......
硅片工件台系统是光刻机系统的重要组成部分，微动台作为硅片工件台系统的核心部件，其性能对整个光刻机系统至关重要。光刻机在工作过......
双工件台作为光刻机运动控制系统关键机构,在光刻机的硅片对准、调平调焦和曝光刻片过程中起到了重要作用。六自由度微动台作为双......
为了提高光刻机的产率，ASML率先推出了Twinscan系列光刻机，Twinscan方案中两个工件台并行工作在测量位和曝光位，提高了生产效率，但是引......
为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支......
