椭圆偏振法相关论文
为了获得红外低折射率材料的光学常数,采用电子束热蒸发技术在多光谱硫化锌基底上以不同的基底温度分别制备了单层氟化钇(YF3)和氟......
本文提出了根据多个周期的Δ、ψ轨迹来判别薄膜折射率非均匀性的原则。实验结果表明CeF_3、LaF_3、NdF_3薄膜基本上是均匀的。而......
微纳米薄膜材料广泛应用在纳米制造、微电子、新材料、环境监测、超精密加工等领域。近年来,随着精密工程和微纳技术的快速发展,越......
相位延迟器是一类重要的光学器件,是偏光器件的重要组成部分。相位延迟器同其他偏光器件相配合,可以实现光的各种偏振态之间的相互......
综述油膜厚度测量的理论,介绍了生产中用于镀锡板油膜厚度测量的亲水天平和消光型椭圆仪两种仪器,分析了这两种仪器在测量中的不足......
首先针对可变入射角的反射法消光椭偏测试系统,讨论其计算公式和求解思路,建立了全局目标优化函数,提出一种网格优化算法,即计算中......
采用氧化法对原料进行降解，得到不同分子量的产品，用粘度法测量分子量；采用失重法，结合极化曲线法，在不同浓度海水体系中，对原料和降解产......
将经过不同热处理的Zr-Sn-Nb合金样品放在350℃、16．8mol／LPa、0．01mol／LLiOH溶液的高压釜中进行腐蚀。用椭圆偏振法研究氧化膜中的四......
通过引进等腰棱镜, 利用椭偏测量技术实现了液体复折射率的精确测量.基于菲涅尔公式及椭偏测量原理, 从理论上分析仪器测量得到的......
采用椭偏法测试的单层均匀透射薄膜的介电常数满足一个五阶多项式方程，来求解 薄膜的折射率和厚度，并且进行了详细的计算和讨论。椭......
将经过不同条件处理的Zr-Sn-Nb合金样品放在装有0.01mol/L的LiOH溶液、350℃、16.8MPa的高压釜中腐蚀,用椭圆偏振法研究氧化膜中四......
采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜．利用法国产Jobin Yvon UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段，选用适当的色散公式建......
综述了CMP后的晶圆测量方法，比较指出：光学干涉法适宜于测量较厚的薄膜，而椭圆偏振法精度较高，但成本高昂，适宜于测量薄的薄膜。CMP后需......
从在线Low-E玻璃光学机理出发，用椭圆偏振光谱仪对在线Low-E玻璃功能层和过渡层的可见-近红外波段的光学常数进行研究．测量了样品在......
为开发新型绿色海水缓蚀剂，首先采用氧化法对原料壳聚糖进行降解，得到不同分子量的产品，用端基法测量分子量，然后采用失重法和极化曲线......
为获得薄膜金属玻璃在可见-近红外波段的光学常数,采用真空磁控溅射技术在Si基底上制备Zr基(ZrCuNiA(l 64.13∶15.75∶10.12∶10%a......
该文用了两个不同的薄膜样品,在两台不同的分光计上,用不同的入射角对薄膜的厚度和折射率进行了测量,并通过比较实验结果,说明了在......
在传统的激光椭偏法测量厚度的基础上,用微波取代激光测量了不透明材料的厚度.分析了偏转角及反射干扰产生的误差,并提出了修正方......
选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明,椭圆偏振法的精度较高,但......
利用离子束溅射沉积制备了光学薄膜。基于椭圆偏振测量技术,研究了折射率、膜层厚度和表面层厚度与测试光斑大小的关系。研究结果......
氧化锌是一种宽能带隙半导体材料,在室温下,其禁带宽度达到3.37eV,具有禁带宽、激子束缚能高、无毒、原料易得、成本低等优良的光......
随着科学技术日新月异的发展和薄膜产业的腾飞,不同的需要对薄膜技术和薄膜材料提出了各种各样的要求。为了确定薄膜的性质,人们提......
二氧化铈因具有高介电常数、折射率和紫外吸收率而在光学和电子器件方面得到广泛应用。在500℃沉积温度下,采用真空热蒸镀法在单晶......
介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成,并分析了它们的特点及存在问题,指出选择测量方......
采用椭偏技术研究了45～95℃和5 kPa纯氧气氛中金属铀的氧化,通过不同温度下金属铀表面氧化层厚度随时间的变化规律,得到贫铀在初始......
