超微细图形相关论文
本文打破传统靠缩短光刻波长提高光刻分辨率的思路,介绍一种利用波长比光刻波长小得多的等离子表面波,可穿过尺度很小的纳米孔和缝......
自１９５９年集成电路发明以来，它对人类的生产和生活方式的很多方面产生了极其重大的影响。集成电路正以线宽每年缩小３０％，集成规和工１倍，芯片价格......
介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计.研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性,数......
一种制作量子尺寸超微细图形的新方法傅绍军，夏安东，洪义麟，田扬超（中国科技大学国家同步辐射实验室）０引言具有二维和三维量子限域作用的......
