本文采用NIP型叠层电池结构是提升硅基薄膜电池转换效率的重要手段，非晶硅锗材料因其带隙可调适宜作为中间电池的有源层。以锗烷、......

采用空间分辨光发射谱和傅里叶变换功率阻抗分析仪研究了衬底偏压和辉光功率对微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性的影......

采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了系列本征微晶硅薄膜材料和nip单结微晶硅太阳电池,研究了硅烷浓度、衬底温度和辉光......

采用改进的电压和电流测试方法对衬底电极外加不同电压Vs的射频等离子体中的阻抗和功率消耗进行了测试分析.结果表明:在射频电极施......

采用RF—PECVD在不锈钢衬底上制备了一系列NIP结构的硅薄膜太阳能电池，得到本征层的辉光功率分别是4W，7．2W，9W，20W，40W。用磁控溅射在P层......

采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,研究了辉光功率对微晶硅锗材料结构特性和光电特性的影响,提出使用功率梯度的方法制备微晶......