力敏电阻相关论文
本文利用硅硅直接键合技术引入了一种完全采用单晶硅制作的静电激励的微机械谐振器，文中对静电激励力进行了分析，实测表明该谐振器频......
本文研究了多晶硅应变膜压力传感器制作技术,提出了防止多晶硅应变膜变形的工艺条件,研制出了多晶硅应变膜压力传感器。这一技术简......
本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的＜１１１＞晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型力敏......
用环形孔板节流模型对注汽井吸汽剖面的压力、流量、干度、温度进行了分析，以汽液两相流分相理论导出了仪器的测量原理公式．在此基础......
江苏雷声电子设备厂(原国营江宁机械厂),隶属于中国船舶工业总公司,是1958年国家重点建设的电子声学和机械综合性科研生产企业,研......
在压力的精密测量领域采用智能仪表是目前的发展方向。本文介绍了新研制的ＫＳＹ型扩散硅数字压力计的工作原理、性能指标及温度补偿措施......
本文介绍一种新型集成压力传感器．它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起，制作......
本文从理论上和实验上对剪切应力对力敏电阻的压阻灵敏度影响进行了研究.在本文的分析中,取消了已往工作中对力敏电阻设计的取向限......
本文讨论了用作微量程压力传感器研制中的各向异性腐蚀技术的机理,介绍了用P-ED腐蚀液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的结果。通过实......
关于扩散型应变片的基本特性有:①压力灵敏度和非线性。压力灵敏度不仅取决于膜片晶面和配置电阻的晶向,而且与扩散电阻层的杂质......
一、概述力敏传感器是对力形态信息敏感的传感器。最早出现力敏元件之一是金属电阻应变片。由于应变灵敏系数小,存在蠕度滞后,而......
一、前言集成电子学十多年的迅速发展对现代社会各领域已产生深远的影响。以微型计算机为基础的测量控制系统的出现及其在各个领......
本文分析讨论了E型膜片结构的扩散硅力敏器件的应力分布及其特点以及三种典型晶面上的压阻效应特性,并给出了精确的曲线图.详细阐......
本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证......
本文针对硅压阻效应的各向异性,在压力传感器的硅杯设计中提出了“平均应力点等效模型”的基本设计思想,并以此模型为基础详细论述......
本文介绍了新型铸造表面粗糙度测量仪。仪器采用了新式扩散硅力敏器件的固态压阻式传感器,配备微计算机进行数据处理,可进行多参数......
我们采用各向异性腐蚀技术制造硅杯,因此该工艺的要求使得我们不能采用常规力敏元件的圆形膜片,而必须采用正方形或矩形膜片。 对......
一、引言 随着微电子技术的发展,对半导体压力传感器的灵敏度、选择性、精度、稳定性、可靠性等方面提出了更高的要求。因此设计......
本文介绍一种由力敏电阻全桥和温度补偿的放大器电路构成的集成压力传感器。通过理论分析得到了(100)矩形硅膜的尺寸以及力敏电阻......
本文初步探讨了对压阻式传感器的微型化起限制作用的多种因素:根据(100)晶面硅片各向异性腐蚀的特点,得出了器件芯片最小尺寸与硅......
CYX100型压力传感器是采用硅横向电压应变技术制作的力敏器件,四个力敏电阻组成惠斯顿全桥,具有80年代先进水平。利用该传感器为......
自从压力传感器进入工业控制等实用领域以来,温度补偿技术一直是广大研制人员所从事的主要课题之一。到目前为止,大多数的压力传......
压力传感器一般是指输出电信号(电压或电流)与被测流体压强成正比的电子器件.当前使用最广泛的压力传感器是利用半导体硅材料的压......
提出了一种同时监测胃内压力、pH、温度和体表胃电的方法,分析了所选用的各参数传感器的原理及性能.给出了测试结果和参数定标方程......
本文通过对单晶硅、多晶硅力敏元件复合结构的对比分析,及优化多晶生长条件的选择探讨研制高稳定的多晶力敏元件的理论根据
In th......
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5％。该器件填补国内空白,器件性......
对以陶瓷双孔梁为弹性体的新型厚膜力传感器进行了零点温度漂移和零点的─体化补偿。分析了零点温度漂移和零点的补偿方法，在同一陶......
本文提出关于扩散硅压力传感器误差补偿的一种新方法，重点介绍该方法对零点温度漂移、灵敏度温度漂移以及非线性的补偿。
This pap......
采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微......
为提高Ｃ型压力传感器性能，利用有限元方法，对Ｃ型结构传感器加工过程中出现的边缘Ｒ角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析．其结果表......
该文在同一陶瓷上制备厚膜力敏电阻和温度补偿热敏电阻，通过热敏浆料的掺杂，选择各种材料的粒度大小等实验，讨论了与力敏浆料工艺相匹......
本文通过有限元方法对C型压力传感器的应力分析,给出了传感器结构偏差对压力传感器的性能尤其是灵敏度的影响。
In this paper, t......
介绍采用厚膜工艺技术制作陶瓷力敏传感器,详细叙述圆膜片式压力传感器和陶瓷双孔梁式力传感器的工作原理、主要性能、结构设计、......
论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制......
一般微机械加工的梁──岛结构加速度传感器，梁的平面都是与器件平面平行的，因此只能测量器件平面法向的加速度分量．我们提出了一种制......
本文介绍了一种新型的可对多个目标进行测量的硅压力传感器系统的研制.它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统,用于对......
发光二级管(LED)在工农业生产中具有广泛的应用,本文主要介绍了如何利用LED排光柱系统通过LED被点亮的个数来形象地显示压力信号的......
本文通过有限单元法对Ｅ型硅杯进行应力分析，研究Ｅ型硅杯的结构偏差对膜片应力分布的影响，进而给出Ｅ型硅杯的结构偏差与膜片应力非线性度......
本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律,优化多晶硅应变电阻的设计,......
４二极管与三极管的设计［９，１５］压力传感器中除力敏电桥外往往有补偿电路，桥输出信号放大电路以及测温电路，甚至集成电路等等，不可避免地涉及二......
