p型A1/6H—SiC肖特基二级管特性研究

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研究了p型Al/6H-SiC肖特基二极管的基本制作工艺及其电学参数,采用电流-电压法(I-V)测试了肖特基二级管的理想因子n和肖特基势垒高度φb,对其基本是学参数n和φb的湿度特性进行了研究,并分析了串联电阻对I-V特性的影响。
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