【摘 要】
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随着电子束分析仪器的发展,微区成分(包括表面微区成分)分析已经有了有力的工具.利用电子束激发的标识X光,目前的仪器已经能够在几分钟之内对几个(μm)～3范围(扫描透射电镜中
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随着电子束分析仪器的发展,微区成分(包括表面微区成分)分析已经有了有力的工具.利用电子束激发的标识X光,目前的仪器已经能够在几分钟之内对几个(μm)～3范围(扫描透射电镜中还可缩小几个数量级)内的多种成分(例如八种成分)作出定量分析.利用电子束激发的俄歇电子,目前的仪器
With the development of electron beam analysis instruments, there have been powerful tools for the analysis of the composition of the microdomains, including the surface microdomains, and with the use of electron beam-excited x-rays, the current instruments have been able to analyze several ( (for example, eight components) within the range of 3 μm (μm) to 3 (scanning electron microscopy can be reduced by a few orders of magnitude) .Using electron beam-excited Auger electrons, the current instrument
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