半导体外延层相关论文
本实验利用扫描电子声显微镜对CaAs半导体外延片生长缺陷进行了电子声成像。通过分析不同条件下获得的电声图像,讨论了CaAs半导体......
本文分析了用俄歇电子能谱仪结合氩离子溅射测量绝缘衬底与半导体外延层之间的界面时遇到的样品带电效应并提出了与此有关的在实验......
液相外延(LPE)已成为生长高质量Ⅲ—Ⅴ族半导体外延层的一种实用的技术。本文叙述了该实验的液相外延系统、外延工艺和实验结果,并......
LPE后残Ga去除,一般有物理的(刮除)、热水(擦除)和化学的(腐蚀去除)等方法,这里介绍一种国外专利方法,这是一种化学清洁剂,其配方......
比较了晶格失配度的各种定义,建议统一使用同一定义。采用简化模型系统地探讨了各种情况下半导体外延生长层和衬底的二维晶格失配......
