微流量传感器相关论文
微流量传感器是有着功耗低、响应快、精度高等优点,在汽车工业、航空航天、生物研究、临床诊断等多个领域有广泛的应用.量热微流量......
随着近年来科技的日益发展与进步,对流量检测的需要越来越迫切,微流量传感器作为使用MEMS技术的新兴传感器领域,相较于传统的流量......
MEMS微型科氏质量流量传感器输出信号的相位差与流过的微流量成比例关系.为解算传感器输出信号的微小相位差,使用插值FFT解算方法,......
提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压......
将微流量控制器件与微流量传感器以及相关的信号处理和控制电路相结合的微型化、集成化的微流量控制系统，已经成为MEMS研究的热点之......
该文介绍一种以ＩＣ技术和微机械加工为基础，实现节流、压力检测一体化的一种新式微流量传感器。......
该文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器集成的方法。该方法利用了我们开发的金属驱动流量泵驱动结构的特点，在微泵双金......
流量测量是人们了解和控制流体的一种重要手段,在工业生产和过程控制中占有重要地位。随着微电子工艺和MEMS技术的日趋成熟,医学、......
生物试剂的高精度、自动化分配是生物、化学、医药等领域不可或缺的实验操作手段。它在蛋白质分离、免疫分析、DNA分析和测序、细......
该文在总结前人工作的基础上,将尺寸效应推广到微传感 领域,在此基础上选定了比较有利的测量方案,并在仿真的基础上设计出了结构......
该论文对微机械加工工艺与IC工艺的兼容性问题进行了深入的研究,成功地开发出一套与IC工艺相兼容的微流量控制系统制作工艺流程,实......
随着科学技术的发展和人类环保意识的提高,国内外对污染物监测设备的研究投入逐步增多,尤其是气体污染物的检测备受重视。在众多气......
随着大气污染问题日益严峻和各种工矿瓦斯爆炸事故频发，气体检测与控制越来越受到人们的重视。非分光红外(NDIR)气体检测方法因具有......
设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片．采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时......
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针对醋酸造气工艺中水洗塔合成气测点的样气组成，就该测点的样气预处理系统设计作出评述，并结合西门子Ultramat6红外分析仪的特点介......
介绍西门子Ultramat 5F非分光红外分析仪的原理和结构，及其在齐鲁石化烯烃厂乙烯装置乙烯控制中的成功应用。......
为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通......
文章简述了OXYMAT6E型氧分析仪的工作原理和结构特点,以及它在PTA卸料和输送中的应用情况,并对目前氧分析系统提出改造方案.......
一、引言随着城市现代化程度的不断发展,人民生活质量的不断提高,城市燃料结构必然面临改变,城市煤气必将更广泛地应用于市民生活......
介绍了一种新型的微流量传感器信号处理电路....
为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统......
介绍一种采用层流式微流量传感器，使用电子线路对微流量传感器的信号进行放大、转换，用单片机实现非线性补偿与标度转换，进而研制成数......
介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法，该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集......
本文在一些成功的微流体器件的设计加工基础上，提出了一种计算机控制的微流量测量与控制系统。对各个微机械器件做了介绍，并分析了系......
澳大利亚莫纳什大学（Monash University）的研究组开发了一种低成本制造微流量诊断设备的方法。该方法采用棉花、纸张或其他复丝线制......
根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一各 流量泵驱动鸨民微流量传感器系统集成的方法。该方法在......
提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏......
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模......
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形P......
为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统......
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及......
介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上......
基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器.由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时......
从取样系统的设计、样气的预处理方法、氧分析仪的结构原理及现场使用等几个方面介绍了OXYMXT6型氧分析仪在PTA装置上的应用。......
采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。......
根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该......
MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEM......
随着微机电系统MEMS的快速发展,基于硅结构的微流体控制系统——微流量传感器由于其体积小、功耗低、控制精度高、响应速度快等特......
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平......
归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋......
在丙烯酸化工装置采用了西门子OXYMAT 6在线氧含量分析仪用于装置反应器入口氧含量分析。本文详细介绍了西门子磁微压式顺磁在线氧......
