物理汽相淀积相关论文
内燃机的代表性滑动件活塞环的陶瓷化十分盛行。其方法大致分为两种,一种是用陶瓷直接制造活塞环的烧结法,另一种是用PVD(物理汽......
中国真空学会薄膜专委会决定,“全国第三届薄膜学术讨论会”将于1989年3月间在武汉召开。会议期间将同时举办有关新产品展销、成......
在真空中淀积金属膜和介电质膜是真空技术的重要应用之一。这种真空淀积技术叫做“PVD”方法(物理汽相淀积法)。PVD方法中,最初采......
文章综述的内容为：（１）物理汽相淀积（ＰＶＤ）薄膜的微结构；（２）ＰＶＤ薄膜的内应力；（３）膜的微结构和内应力的关系．着重介绍制备参数对微结构、内应力和两者之间的......
片子加工的评价从目前状态看,电子计算机主要依靠硅单片集成电路,而且还将持续很长一段时间。其理由是比较简单的,比硅持性好的半......
化学汽相淀积(CVD)是最近开始普遍用于集成制造工艺并向实用化急速发展的一门技术。但是还有与化学汽相淀积相类似的物理汽相淀积......
AMS——AdaptableManufacturingSystem适应性生产系统ARPA——AdvancedResearchProjectsAgency预研规划局AVP。AdvancedVacuumProc......
清洗用氟化气体材料的开发近年来，以半导体的高集成化为代表的电子工业在技术革新方面取得了显著的成绩，其中新材料的使用和新技术的......
...
X光光学近年来有极大的发展,其重要原因是多层膜软X光反射镜的研制成功。这种反射镜,一般用物理汽相淀积方法蒸镀无机材料而得的多......
