Pt薄膜相关论文
随着人口老龄化问题的加剧,微加工生物电极作为一种典型的植入式医疗器件被越来越多地应用于临床医学中。常采用导电性、耐腐蚀性......
采用低能Ar+离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)衬底上分别沉积Cu、Ag、Pt薄膜.实验发现,若辅助轰击的Ar+离子束沿衬底法线方向入射,......
提出了一种可以测试氮化硅薄膜热导、热容的方法。该方法采用微机械加工技术制作成悬空结构,利用Pt薄膜来做加热与测温电阻。设计......
利用高功率微波等离子体化学气相沉积方法在硅衬底上沉积了多晶金刚石薄膜,然后利用电子束蒸发方法在金刚石薄膜表面上沉积了5 nm......
由于FePt在超高密度磁存储材料方面的广阔应用前景及其局限性,研究人员对FePT薄膜进行了大量的研究及改性.根据国外近期在此领域的......
L10有序FePt合金薄膜有大的各向异性能、矫顽力和饱和磁化强度,而且根据制备工艺条件的不同,其易磁化轴可以平行或垂直于膜面,因此......
采用脉冲激光沉积技术在（0001）取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜，研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构，表面形貌及电学......
设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加......
采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器,并且以水和甲醇为工质,对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研......
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180 nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜.厚约50 nm的T......
选择合适的沉积室内壁材料是热壁化学气相沉积制备Pt薄膜过程中降低前驱体在沉积室内壁上大量消耗,进而保证沉积室内Pt前驱体分压......
采用射频磁控溅射法成功制备了（111）取向的Pt薄膜。在研究退火工艺对Pt薄膜（111）取向生长的影响基础上，着重研究了退火工艺对Pt薄膜与缓......
随着集成电路的发展,摩尔定律一直驱动着集成电路特征尺寸逐渐减小。集成电路的基本单元即金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET......
