射频磁控溅射方法相关论文
类金刚石薄膜具有很高的硬度,电阻率,电绝缘强度,光学透过率,热导率,化学稳定性,抗腐蚀性,低磨擦系数等优异的性能特点.已经成功地......
掺铝氧化锌（AZO）具有原材料价格便宜、无毒、H等离子体环境中稳定性好等优点，是一种极具发展潜力的透明导电薄膜材料，然而，目前AZO薄膜......
近些年来,半导体氧化物薄膜作为一种新型的透明导电薄膜,因其低电阻率和高可见光透过率等优点,在微电子领域、半导体领域得到了普......
二氧化钒材料是一种被广泛研究的热敏材料,它有多种晶型,其中VO_2(M)型和VO_2(B)型各有特点,适合不同的用途。VO_2(M)是一种具有特......
In this thesis the study of non-equilibrium plasmas generated under low and atmospheric pressure conditions along with t......
采用射频磁控溅射方法制备了TbFeCo非晶磁光薄膜,并在TbFeCo中分别引入轻稀土元素Nd、Pr和Ce,测试了薄膜的磁光性能,得到磁光薄膜......
在SiO2/Si基片上采用直流对靶溅射技术制备出Pt/Ti底电极;应用射频磁控溅射方法,利用快速热处理(RTA)工艺,制备出了具有良好铁电性......
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,并在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性.研究发现,沉积时工......
利用射频磁控溅射方法制备了VO2薄膜，通过正交试验设计研究镀膜工艺因素对薄膜导电特性的影响规律。试验结果表明，影响薄膜导电性能......
利用射频磁控溅射的方法,在不同的衬底温度和溅射功率下制备了氧化钒薄膜样品,并在纯氩气环境下作了退火处理,用X射线衍射(XRD)、X......
