平面光栅相关论文
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
介绍了一种掠入射式多包含角平面光栅单色器的设计原理，从理论上对其可行性进行了分析和验证。该单色器系统对SX-700型单色器进行了......
本文介绍了长春光学精密机械研究所研制成功的四台衍射光栅刻划机。该机自1958年开始设计。1号、2号光栅刻划机为机械型,分别于195......
合肥国家同步辐射实验室（ＮＳＲＬ）在表面物理光束线中应用了新的简单平面光栅单色仪作为分光仪器。它采用平面光栅和球面镜组成光学成像系统......
针对浸没式光刻机高精度的测量需求,采用平面光栅为测量标尺,分析推导了一种位移测量模型.通过建立光栅与四个读头之间的相对位移......
光栅微结构尺寸在微米亚微米量级、口径达到上百毫米甚至米级的大尺寸平面光栅,在新一代光刻机等超精密加工测试装备、惯性约束核......
对机床作圆检验常用的仪器是球杆仪,它具有测量精度高,安装方便,测量时间短,不需额外加工测试件等优点,但也存在不能进行小半径测......
摘要： 为了证明由周期性造成的光的“负折射”现象不同于光的衍射现象，采用光学外差干涉法，对运动的平面光栅的衍射光进行多普勒频移......
针对高压电子式电流和电压互感器腔体内温度测量困难的问题，设计了一种F—P温度传感器及解调方案。采用铜管和端面镀膜的光纤制作F-......
介绍了用圆轨迹法测量数控机床精度的一般概念，给出了反向尖角产生的基本原理，介绍了平面光栅实验装置的构成和实验调试以及数据处理......
采用垂直电极直接燃烧法,以交流电弧为激发光源,在改造完成的摄谱仪上进行摄谱,采用国家一级标准物质硅酸盐系列GSESⅠ为标准,河北......
对机床作圆检验常用的仪器是球杆仪,它具有测量精度高,安装方便,测量时间短,不需额外加工测试件等优点,但也存在不能进行小半径测......
介绍了数控机床几何误差测量常用圆检验法，分析了圆检验法常用仪器的测量原理，突出平面光栅测量的优点，并在立式加工中心上利用平面光......
针对反射式成像光谱系统普遍存在多次反射（和衍射）产生杂散光和装调难度大等问题,设计了一种高性能透射式系统,全部使用通用光学组件......
本文运用齐次坐标变换原理和刚体假设,利用加工中心刀尖点到工件的封闭特性,推导出了包含21项几何误差的数学模型,基于平面光栅测......
介绍了德国某公司开发的用于测量数控机床二维运动轮廓精度的高精密平面光栅,并利用平面光栅对不同半径、不同进给速度的圆轨迹进......
平面光栅位置调节难点主要在望远镜系统，通过分析成像过程中反射十字可能出现的位置，就可快速完成望远镜系统的调节。......
二维微动平台往往是装备或实验技术中不可或缺的一种常见装置,而标准化的移动平台往往精度有限,难以满足某些高端应用场合.本文采......
采用双CT结构以及光路追迹的优化光路系统,将光斑自动调整与三轴转台结合实现不同规格待测光栅的自动装调。实验结果表明,测量重复......
本大根据Michael P.Chrisp的全息环面光栅系统波像差理论,重新推导了平面对称光橱系统的像差系数,使理论的适用范围延伸到多种面形......
本文讨论了平面光栅的光栅方程式及其在单色仪情况下的变形,计算了多种光栅的能量分布,讨论了各种参数对光栅能量分布的影响以及参......
针对传统的车尔尼-特纳光谱仪像散较大的缺点,基于像差理论,提出了一种改进的车尔尼-特纳光谱成像系统。将平面光栅置于发散光中,......
为满足高分辨率大相对孔径宽波段高光谱成像仪的要求,克服Offner光谱成像系统中凸面光栅加工的困难和改进型Czerny-Turner光谱成像......
同步辐射装置是基础科学研究领域的重要研究工具,其中,光束线是连接实验站和光源的桥梁,需要把复色的同步辐射光处理成具有一定尺......
考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法.该方......
高光谱成像具有精细的光谱分辨能力,在热红外谱段实施高光谱成像对目标探测与识别有显著效果.与国外相比,我国在该领域的研究还相......
杂散光是平面光栅的重要性能指标,光栅杂散光的测量一直是光栅研制领域的难题。为实现仪器自身杂光低于10-8量级,以满足对平面光栅......
临边成像光谱仪是一种对大气遥感探测有重要研究和应用价值的新型空间光学遥感仪器。从大气临边成像光谱探测的原理出发,设计并研......
偶氮苯聚合物材料在光子学的方方面面均以表现出巨大的潜在应用,包括光子产生、光子调控、光子转换、光子存储和光子传输等。在光......
采用光栅非接触式轨迹测头和平面光栅得到数控机床轨迹真实情况的数据,数控机床按编程命令走过轨迹的实际表现数据对于分析精度影......
随着科技的迅速发展，大面积且高质量的平面衍射光栅在各国军事、天文、核能、航天航空以及民用领域的需求越发迫切。机械刻划法是光......
为了进一步提高平面光栅衍射效率测试仪的测量精度,分析了影响平面光栅衍射效率测量值的主要因素.根据平面光栅相对衍射效率测量原......
平面光栅双单色仪是构成光栅衍射效率测试仪的重要组成部分,为了完成光栅衍射效率测试仪的研制,需要对平面光栅双单色仪的光学系统......
本文首先对国内外数控机床运动误差检测技术的现状作了概述与分析,在此基础上,提出了基于刚体系统运动学理论与齐次坐标变换原理的......
编码器被广泛应用于精密位置测量和精密运动控制领域。由于在规尺上具有完全重复的周期结构,大多数编码器只能测量相对位置的变化......
光栅的衍射效率的质量是光栅最重要的技术指标，在很大程度上影响了光谱仪器的能量传输性能，衍射效率的检测在光栅的生产和研制中具有......
随着现代科学技术的迅速发展,精密测量技术越来越成为各国高技术发展水平的重要标志,所有的发达国家都将精密测量技术作为机械行业......
