氮化钽薄膜相关论文
衰减器是微波测试系统中必不可少的功率控制与调整单元,随着微机电系统（MEMS）的诞生,推动了市场对集成化、小体积、高性能MEMS衰减器......
随着科技的迅速发展,微机电系统(MEMS)在生物、医学、环境保护、宇航、农业、工业和军事等领域得到了广泛应用。单晶硅具有诸多性......
微波功率匹配负载是微波器件与微波电路中的一类通用元件,可以广泛应用于通讯、雷达、探测等领域的无线电子器件及系统中。随着无......
随着集成电路工艺的发展，铜替代铝成为新一代的互连材料。为了防止铜扩散进硅器件中引起器件性能受损以及提高铜与硅、二氧化硅的粘......
介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下......
利用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢上制备了TaN薄膜,并通过电化学原子力显微镜(ECAFM)对TaN薄膜在NaCl溶液中......
目前，Vishay Intertechnology，Inc．（NYSE）宣布，推出通过QPLMIL—PRF-55342测试的新款表面贴装片式电阻——E/H（Ta2N）QPL，保证可靠性达到100p......
介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制......
本文提供了一种单片微波集成电路(MMIC)芯片衰减器,采用氮化钽薄膜作为电阻材料,利用嵌套掩膜刻蚀技术将芯片衰减器结构一层一层套......
在薄膜集成电路的制作工艺中,沉积电阻材料制作高精度、高稳定性的埋嵌薄膜电阻是一项关键技术,TaN由于具有良好的电阻范围和较高......
