集成压力传感器相关论文
本文介绍了混合集成压力传感器的设计,通过厚膜集成工艺与SMT的结合,将扩散硅力敏元件与温漂补偿电路、放大电路集成于同一基片上.......
介绍了MEMS国内外发展概况,及MEMS技术在集成压力传感器研制中的应用情况.结合作者在佐治亚理工学院微电子研究中心的工作,简述了......
采用厚膜技术研制新型电倥式集成压力传感和感压元件。具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。......
该文报导了一种灵巧集成压力传感器的研制。该压力传感器芯片内包含了压敏电桥参考电桥，数据放大器，恒流源以及ＡＤＣ电路。介绍了系统与电......
飞思卡尔半导体推出三款新的引脚对引脚兼容的压力传感器,替代MPXHZ6000系列,进一步扩展了其面向汽车发动机管理和高能效应用的Xtr......
设计并制作出一种新型集成压力传感器——集成 MOS力敏运放压力传感器 .它将运算放大器中的一对PMOS差分输入管集中设置在 N型 (10......
YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控的目的．该产品的测压量程为0～1MPa．适用温度范围为．1......
飞思卡尔半导体推出三款新的引脚对引脚兼容的压力传感器，替代MPXHZ6000系列，进一步扩展了其面向汽车发动机管理和高能效应用的Xtrin......
利用MOSFET的压阻效应,本文提出了力敏运算放大器的概念、基本原理和设计思想.作为其应用之一,研制出一种新型集成压力传感器--集......
本文介绍一种新型集成压力传感器，它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，交幸导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起、制......
设计并制作出一种新型集成压力传感器－集成MOS力敏运动压力传感器。它将运算放大器中的一对PMOS差分输入管集中设置在N型（100）Si膜片......
通过厚膜力敏工艺技术和厚膜混合集成技术的结合，研制成功厚膜集成压力传感器，能直接和显示仪表连续。为传感器的集成化作了有益的尝......
力敏器件,主要是指用来测量力、压力、速度、加速度、位移、振动等物理量的敏感器件.因这些测量都与机械应力相关,所以通称为力敏......
硅-兰宝石集成压力传感器是一种无隔离结的固态压阻式传感器,它具有耐高温,耐腐蚀,抗辐射等许多硅集成压力传感器所无法比拟的优点......
<正> 硅单晶作为半导体材料具有优良的特性,它是一种硬度、拉伸强度和杨氏模量较大、机械性能也较好的材料.半导体工艺技术在硅单......
本文是在ＣＧＪＹ－７７０２型低差压硅集成压力传感器研制的基础上，结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案，对高稳定低差压传感器的实现，在主要工艺......
现在生产中较为广泛使用的硅杯式压力传感器的管芯是如图1所示的桥式电路,四个电阻由平面工艺扩散而成。硅弹性膜片受压变形,电阻......
