微机械元件相关论文
文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。......
微电子机械系统(microelectromechanical system，简称MEMS)，是一项有广泛应用前景的新兴应用基础技术，是面向21世纪的信息技术核心之......
微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成高度的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面......
微电子技术的发展。为通讯、信息处理和生产、生活及办公自动化等领域带来了巨大的进步。使人类的生活方式、思维方式和社会的产业......
ME MS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微......
在研究 PAMPS凝胶、 PNIPAM凝胶合成实验和分析其体积变化的基础上,设计了几种微机械元件,说明了它们的工作原理,为基于智能凝胶的......
在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常......
1项目负责人及所在单位：尚德广,北京工业大学2起止年限：2006年1月～2008年12月3项目简介MEMS产品在汽车、航空航天、医疗器械等诸多领......
在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们在与微电子线路在一起形成高......
微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得......
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