纳机电系统相关论文
目前,水污染已经成为亟待解决的全球性问题,尤其是水中重金属离子造成的污染已对人体健康及全球环境构成严重的威胁,因此对水环境......
随着微电子加工技术以及纳米加工技术的进步,人们已经能够很容易制造出纳米梁和纳米线。纳米梁是纳机电系统用于痕量检测、超快传......
纳机电系统(NEMS)从微机电系统(MEMS)发展而来,NEMS器件相比MEMS器件具有更高的谐振频率和Q值,更高的灵敏度,更高的集成度,更低的......
近年来，因纳米技术的快速发展以及其在众多领域的广阔应用前景，使纳米级材料和结构的研究受到了众多研究者的持续关注。精密和超精密......
目前,对微机电系统制造技术的研究已较为完善,而对纳机电系统加工机理的研究仍存在大量空白。纳米尺度下的尺寸效应、表面效应使纳......
本课题就是研究吸附效应对纳机电系统(Nano—electromechanical system NEMS)中常用的纳米梁特性的影响。 全文分为三个主要方......
随着分子束外延(MBE)技术和纳机电系统加工技术的快速发展,各种新型的超晶格量子阱器件被加工出来。因尺度变小而产生的各种效应(......
随着微电子加工工艺和纳米技术的进步,NEMS得到了快速的发展,人们已经能够比较容易地制造出纳米量级的简单NEMS结构和器件。作为NE......
NEMS（Nano Electro Mechanical System）纳机电系统，是基于MEMS技术而提出的一个新概念，其特征尺寸在几纳米到几百纳米，以机电结合为主要......
纳机电系统是一项被认为面向21世纪可以得到广泛应用的高新技术产业，在国防军工、航空航天、医疗工程等领域具有潜在应用，倍受各国政......
微机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)现已成为微电子技术的主要发展方向，各国都已投入资金展开研究，并在相关领域获......
在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角......
采用数值计算方法研究了基于石墨的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件．确定了获得持久稳定的振动的系统和控制......
对于静电驱动的亚微米及纳米尺度的谐振器,衍射效应将会使其驱动及振动频率的光学检测变得更加困难,为克服衍射效应的影响,设计、......
利用聚焦离子束（focused-ion-beam，FIB）刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋．单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷......
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与AN......
碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个......
针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜（AFM）的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的......
当达到纳米数量级，光在两个非常接近（有时可达到10nm，比光的波长都要小）的表面之间辐射光子会产生能量，在光波长被中断时，光的特性会发生......
首先引进纳机电系统的物理模型,即自旋-玻色子模型的单模情况。对模型进行严格数值解和绝热近似解,通过两种解法结果的比较,从而确......
在微机电系统(MEMS)领域,自1989年Tang等人首次提出横向多晶硅谐振器结构以来,有关谐振器振动过程中阻尼问题的研究一直就是影响和......
提出了一种双层同轴圆柱管振动的力学模型，并用连续介质力学的方法分析了该模型分别在Casimir力和静电力驱动下的振动特性．计算结果......
纳电子技术涉及许多专门领域,是一门高度交叉的学科.本文把注意力集中在硅纳电子技术、111-V族化合物半导体纳电子技术、碳纳管电......
根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有......
根据能量法,提出了一种用于分析硅纳米梁静态弯曲的多尺度模型，与传统的连续介质模型相比,该模型考虑了梁厚度方向进入纳米尺度所带......
本文介绍了纳机电系统(NEMS)的研究进展.首先介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,接着介绍了一些典型NEMS......
本文阐述了基于原子力显微镜（AFM）的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚......
采用数值方法研究了基于双壁碳纳米管的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件。确定了获得持久稳定的振动的系统......
为研究纳米梁的力学特性,采用SOI晶圆制备了硅双端固支梁纳米梁,利用典型的原子力显微镜（AFM）弯曲测试方法测试了硅纳米梁〈100〉晶......
当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时，实验表明在外部激励的作用下，器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴......
简要介绍了几种对纳米谐振梁的能量耗散有显著影响的阻尼机制，以及相关的研究结果。随后，给出了与纳米梁相关的几种振动理论，并分别用......
纳米梁谐振器是一种重要的NEMS器件,在射频和传感等领域具有广阔的应用前景。纳米梁谐振器的机械力学特性测试技术和动态特性测试......
1.前言今天,在一个所谓“云计算”与“大数据”到来的时代,人们面对着大量的数据信息,不仅需要对获取的数据进行传递,而且需要进行......
纳机电系统(NEMS)是集成了电学和机械功能的纳米尺寸器件,是微机电系统(MEMS)进一步小型化的延伸,但也具有纳米尺度下不同于MEMS的......
作为 nanodevices 和 nanomachine 构造的一个重要部件， nanowires (NW ) 的机械性能由于在控制 nanoelectromechanical 系统(NEMS ......
MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可......
按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当......
本文对基于MEMS技术的硅纳米线的机械特性和制造方法进行了研究。通过建立硅纳米线模型和分子动力学方法模拟硅纳米线的机械弹性模......
随着微纳加工技术的快速发展，纳机电系统(Nano Electromechanical System, NEMS)已成为微机电系统(Micro Electromechanical System......
随着微加工工艺的不断进步,微电子机械器件的尺寸进一步缩小至亚微米甚至纳米尺度已成为现实,从而使得研究进入了全新的NEMS领域。......
在微机电系统(MEMS)领域,随着对器件参数要求的提高,器件尺寸进一步缩小至亚微米甚至是纳米尺度,从而出现了一个基于MEMS技术而出......
可靠性工程四川省重点实验室依托电子科技大学实施建设，以我国重大技术装备和重大设施和电子产品对可靠性、维修性与故障诊断技术的......
纳米技术的介入为生物传感器的发展提供了无穷的想象空间.纳米颗粒(如纳米金,磁粒子,荧光颗粒等)可以广泛地应用于敏感分子的固定,......
纳机电系统（NEMS）是在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电系统,具有超高的谐振频率、高品质因数、超低功耗和小的尺......
石墨烯具有比表面积大、弹性模量大、刚度大和密度低等特性,是极佳的纳机电系统(NEMS)基础材料。石墨烯纳机电系统主要研究石墨烯......
以orbit专利数据库收录的1997~2017年期间NEMS传感器技术专利分布为研究对象,通过对其年度分布、国家分布、竞争机构分布及技术领......
