MOCVD设备相关论文
金属有机物化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)是制备混合半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮......
InGaN材料因其具有直接带隙、高吸收系数、抗辐射特性、连续可调的禁带宽度等优秀的光电特性，被认为是最有前景的太阳能电池材料。......
1 课题简介rn本课题的主要研究内容是针对GaN基深紫外LED外延材料生长的MOCVD设备的研制、开发和生产.研制的MOCVD设备基本性能指......
导读：位于佛山南海的广东昭信半导体装备制造有限公司（以下简称昭信半导体），成立于2009年，由广东昭信集团投资，是一家专业从事MOCVD研发......
介绍了集散控制MOCVD系统的研究和应用.该设备是生长半导体材料GaN的关键设备.文中重点探讨了用PLC实现该设备的控制系统,并给出了......
2009年1月，广东昭信集团与华中科技大学正式签约共同研发国产LED（发光二极管）外延芯片核心设备半导体照明芯片设备（MOCVD）。目前，双方正......
通过世界专利索引数据库（DWPI）对MOCVD设备专利进行全面检索,然后进行人工标引,剔除不相关专利,经过引证、权利要求项、诉讼等指标的......
MOCVD,即金属有机物化学气相沉积法、金属有机物气相外延生长,是一种制备化合物半导体薄层的方法,应用于多个领域,如太阳能电池、......
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”),日前宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。中微P......
从专利的角度研究LED产业技术制高点之一的MOCVD设备的竞争格局和发展趋势。对THOMSON的DWPI数据库和广东省专利信息服务平台的国......
MOCVD设备的研制作为LED产业的核心技术之一,在LED产业发展中扮演重要角色。随着我国对LED产业的重视,独立自主研发MOCVD设备变得......
第三代半导体材料GaN由于具有优良性质使其在微电子和光电子领域有广阔的应用前景,目前制备GaN的方法主要有分子束(MBE)、氯化物气......
以MOCVD设备为例,介绍一种基于DeviceNet现场总线标准,采用远程DeviceNet扫描仪SST-END-1-C2与流量控制器、压力控制器构成现场总......
采用了一种新的设计原理，即以流量计为基准，将气体入口端和出口端压力双重分别统一控制，进行了低压ＭＯＣＶＤ设计。本设备引入模拟反应室，减少了......
