ZnO压电薄膜相关论文
本文以环境振动监测需求为背景,设计并制作基于MEMS技术晶圆级Li掺杂ZnO多层薄膜加速度传感器。构建了ZnO压电理论模型,优化了ZnO......
通过有限元仿真,分析基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波传播特性,包括机电耦合系数、声表面波波速以及温度敏感系数等,同时分......
磁场探测和感知在生产生活和国防安全方面有着重要的意义。本论文针对新进出现的、基于磁电复合材料的弱磁场传感器的瓶颈问题，研究......
该课题将研究声面波滤波器的重点内容放在了研究新型压电材料和激发谐波两方面.主要包括三个部分的内容,它们是:压电薄膜ZnO的制备......
矢量水听器在海洋探测、反潜等领域发挥着重要的作用，但是远距离探测中矢量水听器拖曳阵尺寸增大问题严重，而MEMS技术的发展为矢量水......
介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波（FPW）器件的设计与制作。为减小薄膜的应力，器件采用LTO／ZnO／LTO／Si，N。多层复合板结构，并采用直流磁......
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目前已得到广泛应用的DC平面磁控反应性溅射制备ZnO压电薄膜，由于靶面氧化和靶表面氧化物的沉积，导致放电电阻增加和靶表面的弧光放......
研究了基于ZnO压电薄膜结构的1GHz声光偏转器。通过采用半导体工艺流程制备器件,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试,得到......
采用RF平面磁控溅射技术在单晶Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在Al2O3衬底上沉积的Zn......
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用MEMS技术探索制作的悬臂梁式ZnO薄膜压电微力传感／执行系统，具有微型化、灵敏度高，能实现传感器／执行器的功能集成以及系统智能化等......
声表面波（SAW）器件以其小型化、高可靠性、多功能等优点而广泛应用于雷达、无线通信和光纤通信系统中,随着移动通信的迅猛发展,应用......
采用射频磁控溅射法制备了ZnO压电薄膜，并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器进行性能验证。X射线衍射结果显示......
氧化锌（ZnO）是一种六方纤锌矿型的II-VI族化合物半导体材料,具有宽带隙（.337eV）、高激子束缚能（60meV）以及良好的力学、电学、光学和压电......
随着科学技术的发展,对传感器功能的要求也越来越高。采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信......
