半导体加工相关论文
隔离技术是集成电路制造工艺中颇为重要的技术。本文综合介绍了当今半导体加工工艺中所用的隔离技术，包括现有双极和ＭＯＳ器件所用的各种......
8月9日出版的最新一期《科学》杂志上,中国科学家的半浮栅晶体管(SFGT)研发成果引起世界关注,因为它有望让电子芯片的性能实现突破......
随着晶圆特征尺寸的不断减小、晶圆直径的不断增大，半导体制造过程变得越来越复杂，对半导体制造装备及其自动化水平要求也越来越高，而......
半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生产成本。虽然已研究过......
激光技术正使半导体加工工业发生变革。在半导体工业中,要求廉价前提下不断改善性能。激光技术正在解决这些经济原因带来的困难。......
半导体制造业在国民经济建设、社会发展和国家安全中处于重要的战略地位,促进了经济的持续增长,推动了信息产业的(通信、计算机、......
美高森美公司发布用于开发下一代高电压大功率系统的设计指南，这些系统以公司独有的数字射频（Digital Radio Frequency，DRF）系列混合模......
本文介绍了利用PLC实现的光刻机箱体内部温度控制系统的一个硬件设计方案。实验证明。本方案具有设计合理、性能稳定可靠、易于推......
本文用具有QUICK方案的SIMPLE算法对底部加热的低Prandtl数流体自然对流换热进行了数值计算,研究了这种流动与换热问题数值解的分......
半导体工业的发展的关键在于设备技术的成熟,设备可靠性分析与改善尤为重要。文章首先概述了半导体加工过程,之后介绍了半导体封装......
为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构......
微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响 ,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构......
数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展，已成为数控机床制造技术及集成电路制造技术的重要标志，引起了发达国家的广泛......
应用技术型高校更加注重学生实践能力、技术应用能力和创新能力的培养,校企合作是培养应用型本科人才的重要途径。从开展校企合作......
