微电子机械系统(MEMs)相关论文
根据惯性微流控粒子分选原理,设计并制备了基于收缩-扩张结构的微流控芯片,用以实现不同直径粒子的连续分离,并利用COMSOL软件对通......
设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜，采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化，拟合了前14项Z......
简要介绍了磁张量仪的基本概念与种类划分,并对不同种类的磁张量仪进行对比.阐述了国内外磁通门磁张量仪的发展历史,包括十字型、......
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弹体在高速侵彻过程中的姿态偏转是影响其效能的重要因素,利用微电子机械系统(MEMS)陀螺仪进行姿态测量是监测弹体姿态变化的主要......
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传统Ag/AgCl湿电极存在柔韧性差、稳定性不高等缺点,已不能满足应用于智能可穿戴设备采集表面肌电信号(sEMG)的需求。提出一种通过......
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了......
粘片工艺过程中产生的热机械应力是微电子机械系统(MEMS)芯片的主要误差源之一。为了降低粘片工艺应力对MEMS芯片的影响,提高MEMS......
采用倾斜溅射工艺制备了一种Cr/Ti/Ni三层金属吸气剂薄膜,其中Ti薄膜作为主吸气层,Cr薄膜为沉积在Ti下方的阻挡层,Ni薄膜为覆盖在T......
为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流......
p型4H-SiC相较n型4H-SiC具有更高的压阻效应,p型4H-SiC正方形膜片作为弹性元件相较圆形膜片具有更高的灵敏度。基于此,设计了一种......
介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率.该......
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依据高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)原理,设计了一种迁移区和收集区一体化式的微型化FAIMS气体传感器.电离区采用能量为10.6 eV......
随着微波系统大功率、超宽带的发展,对功率分配/合成结构的性能提出了更高的要求,超宽带、低损耗、小尺寸、易于集成的功分器成为......
微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复......
基于V型电热执行器执行力大、输出位移小的特点,设计了单个V型电热执行器,对其温度分布和位移进行理论计算及ANSYS有限元分析,并利......
提出了一种基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度、快速响应的微电子机械系统(MEMS)湿度传感器.该湿度传感器的制备工艺简单方便、成本低......
作为一种微米尺度的类似针状器件,微针可以克服传统经皮给药(TDD)的局限,在皮肤上无痛、无出血地产生微米量级的孔洞,提高药物尤其......
为了满足湍流探测高灵敏度、高分辨率的要求,提出了一种新型纤毛微电子机械系统(MEMS)湍流传感器.基于MEMS技术制作了硅十字梁敏感......
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设计了一台微电子机械系统(MEMS)电子听诊器,并应用于冠心病心音的检测中.首先,介绍了MEMS电子听诊器核心敏感单元微结构设计原理,......
基于玻璃通孔(TGV)技术的微电子机械系统(MEMS)封装可用于传感器无引线封装,研究了基于纳米玻璃粉末热回流工艺的新型TGV实现方法.......
随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢......
针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器.......
利用移动X射线光刻工艺,制备了六种不同深宽比的等腰三角形结构的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微通道.基于毛细管原理,将PMMA微通道与老......
基于微电子机械系统(MEMS)工艺,提出一种多层圆片堆叠的THz硅微波导结构及其制作方法.为了验证该结构在制作THz无源器件中的优势,......
SU-8胶是一种能够以低成本制作高深宽比微结构的负性光刻胶,在非硅微电子机械系统(MEMS)领域具有广阔的应用前景.针对SU-8胶作为微......
微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)是近年来国际上兴起的一个新的研究领域,是新一轮技术产业革命.目前,世界......
针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了使设计的......
为了研究静电刚度式谐振微加速度传感器结构稳定的判据和影响其稳定性的因素,根据静电刚度式谐振微加速度传感器的结构原理,分析了......
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针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关。该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27V。利......
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首先介绍了基于磁流体微泵的工作原理,并且根据Navier-Stokes公式推导出了磁流体在梯度磁场中所产生的驱动力大小。然后,回顾了磁......
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设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4TMEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段。单刀四掷(single pole 4throw,SP4T)开关用于切......
设计并制造了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜,此变形镜采用了三个多晶硅结构层和一个金属反射层的设计。利用表面硅工艺完......
介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该......
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利用柔性压电薄膜为能量采集器供电在微电子机械系统(MEMS)领域应用越来越广泛,通过电镀应力层剥离制备薄膜是近年来广受关注的一......
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微电子机械系统(MEMS)陀螺仪输出易受环境温度的影响,产生温度漂移,测量精度降低,为解决这个问题,提出一种萤火虫算法(FA)优化BP神......
为了提高微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的抗冲击能力,设计了一种抗冲击保护结构.通过建立陀螺仪结构双自由度冲击模型,推导出陀螺仪......
随着现代电子技术的发展,通信收发系统趋向小型化,对射频前端的环行器提出了小型化的迫切需求,微电子机械系统(MEMS)环行器与传统......
传统Ag/AgCl湿电极存在柔韧性差、稳定性不高等缺点,已不能满足应用于智能可穿戴设备采集表面肌电信号(sEMG)的需求.提出一种通过......
给出了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的静电悬浮微加速度计(MESA),其主要由上定子、质量块和下定子组成.采用力平衡原理和力矩......
针对20 000g超高加速度冲击下微电子机械系统(MEMS)陀螺微弹性梁限位块的参数合理设计,通过建立微弹性梁-限位块碰撞系统动力学方......
石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注.通过将石墨烯与微型导电......
CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发......
应用压组效应原理制作硅氧化物绝缘体(SOI)压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,本文说明了SOI在微电子机械系统(MEMS)......
微马达是微电子机械系统(MEMS)的核心器件之一,其体积的大小和性能的优劣将直接影响MEMS的总体品质.本文详细论述了直径1mm超微马......
基于仿生学原理和电磁转换 ,研制成适于人体肠道环境下驱动的多节、多自由度、电磁型微小蠕动驱动机器人 ,配套驱动源、照明系统、......
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应用计算机辅助设计 (CAD)方法模拟设计一种射频微机械 (RF- MEMS)开关 .用 Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和 ME......
运用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si在N2保护下及420 ℃左右,成功地实现了Au/Si共熔键合,成品率达到90%以上.该键合方法能进行选择区域键合,完......
传统的微机械陀螺采用扫频方法测试结构的品质因数,存在耗时长、测量效率低和精度差等问题。提出了一种新的品质因数测量方法,该方......
MEMS加速度传感器大幅提高了新型地震检波器的各项性能指标。利用有限元软件AN-SYS建立了悬臂硅梁的力学模型,并通过其力学性能仿......
设计了一款用于5G毫米波波段通信的柔性天线,其具有结构紧凑、质量轻、机械性能好、可共形的特点。该天线以柔性材料聚二甲基硅氧......
