照明光学系统相关论文
为了检测列阵式靶面均匀照明光学系统聚焦特性，成功地开发了测定微米量级光强度起伏干涉斑纹投影放大的新技术。报道了测定聚焦不斑......
阐述了照明光学系统在分步投影光刻机中的重要作用，介绍了当采用部分相干光照明时相干度对分辨率的影响，以及Ｋｏｈｌｅｒ照明中聚光镜像差对成像......
本文介绍一种利用光学原理实现的、新颖的仪表盘读数照明方法。与旧的照明方法相比,新方法具有照明均匀、衬度好以及光能利用率高......
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......
本专利提供一种近红外显微镜,它由光源、照明光学系统和观测光学系统等部件组成。光源用于发射近红外光;照明光学系统利用来自光......
设计了一个高效能的光学系统，作为液晶光阀投影器用的均匀矩形光源。当用类似矩形的玻璃柱体将圆形光束转变成均匀的矩形截面光束时......
半导体集成电路的大容量化,高密度化的发展是惊人的。若以存贮器为例,其容量每3～4年增长4倍,采用的图形尺寸每4～5年缩小一倍。随着这......
一、引言传统的半导体光刻工艺所用的光谱波长为350～450毫微米,因为几乎所有以前使用的光致抗蚀剂、光源和照明光学系统在波长低于......
1.投影技术的新发展 投影技术己进入了数字化的阶段,新型的投影仪在分辨率、亮度、重量和体积诸方面都有很大改进。 投影技术按投......
自从1888年,奥地利植物学家莱尼兹尔在合成胆甾醇酯时发现了液晶这种物质后世界上有关国家的学者对液晶的研究经历了一段漫长的道......
该文首先介绍了照明光学系统的国内外的发展现状以及照明光学系统与传统成像光学系统的区别.然后提出了照明光学系统设计的基本步......
LED作为第四代照明光源,目前是公认的“绿色光源”。它不仅可以节省能源、减少污染,而且可以减小照明光学系统体积、延长系统使用......
根据点光源和线光源基本模型与光线追迹理论,借助前台开发工具(Visual Basic6.0)和后台开发工具(Microsoft Office Access)开发了......
在大功率白光LED出现之前，放映机、投影机采用溴钨灯、金卤灯、氙灯等做为电光源来获得高亮度的方法已经延续了几十年。近几年来，大......
设计了一个高效能的光学系统，作８为液晶光阀投影器用的均匀矩形光源。当用类似矩形玻璃柱体将圆形光束转变成均匀的矩形截面光束时，矩......
设计了一套照明CAD软件用于实现对光学仪器中照明光路照度分布模拟。对该照明CAD系统的光线追迹与光照度计算方法进行了理论探讨,......
航天飞行器姿态的精确测量和控制是保证航天任务顺利进行的重要环节。航天飞行器的姿态信息由姿态敏感器来获得,星敏感器是当前姿......
极紫外光刻（EUVL）是半导体工业实现32～16nm技术节点的候选技术，而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件，它主要由照明系统和微缩投影物镜......
四、放映机照明光学系统设计放映机的照明光学系统再加上成像系统就构成了完整的放映光学系统。照明系统是放映机的重要组成部分，它......
