一、引言MIS结构在半导体工艺控制和测量中已经得到广泛应用,尤其在半导体薄膜和界面研究方面更是不可缺少。要从C-V技术获得正确......

传统的最大功率点跟踪( maximum power point tracking,MPPT)方法在均匀辐射条件下效率较高,但由于光伏阵列与辐射、温度之间的强......

针对铝粉抽尘管道存在接地不良、静电累积、瞬时放电可能引起爆炸的安全隐患问题,提出在铝粉抽尘管道采用电压扫描静电法进行沉积......

利用击穿电压和击穿电量这两个参数评价标准0．18μmCMOS工艺栅氧的可靠性，获得击穿电压和击穿电量的两个常用方法是电压扫描法和电流......

光伏发电系统主要通过光伏阵列将太阳能转换为负载所需要的电能。光伏阵列在标准的外部环境条件下,其功率-电压(P-V)输出曲线呈现......

半导体表面二氧化硅层中的可动离子对半导体器件,特别是MOS器件的可靠性和稳定性有着极其重要的影响。长期来,人们为了提高半导体......

双聚焦质谱仪(尼尔-约翰逊型)由于质量分辨能力高,能够快速准确地测定离子的元素组成,是一种重要的有机结构分析工具.然而,它给出......

<正> 半导体硅片的清洗工艺是半导体器件生产中最关键的工艺之一,它对器件的特性及其可靠性有着决定性的作用.迄今为止,在半导体器......

栅氧化层变薄的趋势使得栅氧化层制程对IC产品可靠性的影响成为业界关注的焦点之一。在0．18μm工艺的基础上，针对6V器件对应的氧化层......